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日本HORIBA STEC SEC-400MK3 500MK3氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡介

日本HORIBASTECSEC-400MK3SEC-500MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品型號STECSEC-400MK3STECSEC-500MK3概要MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器的品質(zhì)特性的條件下實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

日本HORIBA STEC SEC-400MK3 SEC-500MK3氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號

STEC SEC-400MK3 STEC SEC-500MK3

概要

MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器的品質(zhì)特性的條件下實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了成本降低。適合于定流量、長時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

特征

搭載熱感閥
追求成本優(yōu)勢、實(shí)現(xiàn)成本降低

規(guī)格

SEC-400MK3

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK3

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)