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方法 | 參考標準 | 優(yōu)點 | 缺點 | 適用范圍 |
光度計掃描法-PAO法 | GB50591-2010 ISO14644-3 | 1、簡單易學(xué)，判斷標準0.01%易懂， 2、對背景環(huán)境的要求沒有計數(shù)器法高，瞬時讀數(shù)。 | 1、發(fā)塵量大，對過濾器有一點污染 2、過濾器安裝需要留有檢漏口，適用于新建廠房 | 適合與HEPA,不適合ULPA 光度計，只能針對油類氣溶膠 |
大氣塵檢漏法（粒子計數(shù)器法） | GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規(guī)范 | 不需要人為發(fā)塵，對過濾器幾乎沒有污染。 | 對背景要求高，環(huán)境潔凈度對檢漏結(jié)果有影響 | 氣溶膠對產(chǎn)品有污染的地方，如特定電子廠。 |
粒子計數(shù)掃描法 | ISO14644-3潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 | 發(fā)塵量，污染少?？芍苯语@示顆粒粒徑。漏點值表達明確。 | 新方法；對背景環(huán)境有要求高；操作難度規(guī)范性高。 | 適用于HEPA及ULPA 適用于油類/固體類氣溶膠 |
高效過濾器檢漏計數(shù)法
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