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詳細(xì)介紹
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 產(chǎn)地 | 日本 |
| 測(cè)定元素范圍 | 鈦（22Ti）～鉍（83Bi） |
| 樣品型態(tài) | 固體、液體皆可 |
| X射線源 | 管電壓： 50 kV 管電流：1mA（40～1000μA自動(dòng)調(diào)整ZUI適電流輸出） |
| X射線照射方向 | 上方垂直照射型 |
| 檢測(cè)器 | 高強(qiáng)度正比例計(jì)數(shù)器 |
| 冷卻方式 | 電子冷卻（不需液態(tài)氮） |
| 準(zhǔn)直器（分析區(qū)域） | 0.1、0.2 mmφ（自動(dòng)切換） |
| 樣品觀察 | 高解析彩色CCD鏡頭 |
| 樣品ZUI大可分析范圍 | 【固定】535×530 mm 【電動(dòng)】260 mm x 210 mm（移動(dòng)量250 mm (X)；200 mm (Y)） 【樣品ZUI大高度】150 mm |
| 儀器尺寸 | 600 (W) × 815 (D) × 675 (H) mm |
| 掃描分析功能 | ■ 自動(dòng)樣品平臺(tái) ■ 高解析彩色CCD鏡頭 ■ 廣域（狹域）觀察系統(tǒng) ■ 雷射自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng) ■ 掃描路徑紀(jì)錄系統(tǒng) |
| 定性分析功能 | ■ 元素分析 ■ 能譜比對(duì) |
| 定量分析功能 | ■ 電鍍膜厚測(cè)定 ■ 薄膜分析檢量線法（可針對(duì)單層、雙層或是多元合金單層膜厚） ■ 薄膜分析FP法（ZUI高一次分析五層） |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | ■ FT系列專用桌上型Dell計(jì)算機(jī)（含液晶屏幕、鼠標(biāo)、鍵盤(pán)） ■ 數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)處理系統(tǒng) ■ 儀器硬件確認(rèn)片一組（含強(qiáng)度、能量、分辨率及光徑校正） |
| 可加購(gòu)選項(xiàng) | ■ 微小準(zhǔn)直器0.05、0.025 × 4 mmφ ■ 操作游戲桿 ■ 大型印刷電路板專用平臺(tái) ■ 金屬電鍍膜厚標(biāo)準(zhǔn)品 ■ 油壓機(jī)與制錠機(jī) |
| 設(shè)置需求 | ■ 建議桌面尺寸：1500 (W) × 1000 (D) mm ■ 使用電源：AC100～240V（50～60Hz）/400VA |
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