真空分子泵

　　特點(diǎn)

　　復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi)((10-6～1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。

　　復(fù)合式分子泵的形式很多，按結(jié)構(gòu)分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級(jí)數(shù)在l0級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　盤式牽引級(jí)是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開出數(shù)條型線溝槽，然后將數(shù)塊圓盤串接起來(lái)構(gòu)成，型線有阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)"，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣目的。

真空分子泵