渦輪分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子運(yùn)動從而獲得超高真空的一種機(jī)械式真空泵，是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴(kuò)散泵節(jié)能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，是目前國內(nèi)大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強(qiáng)度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。
渦輪分子泵的操作注意事項
♦不能在前級泵工作時(前級管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。
♦分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進(jìn)行充氣。
♦選擇系統(tǒng)前級泵的大小時，應(yīng)使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。
♦不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)行。
♦分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。
渦輪分子泵的應(yīng)用領(lǐng)域，包括但不限于：
♦分析(質(zhì)譜分析儀，電子顯微鏡等)。
♦半導(dǎo)體工業(yè)(電子零部件，集成電路，太陽能電池等)。
♦光學(xué)/玻璃工業(yè)(防熱，防反射，反射，光學(xué)過濾涂層等。
♦涂層技術(shù)(表面防護(hù),裝飾性涂層,顯示器,屏幕等)。
♦真空冶煉(真空焊,真空燒結(jié),真空合金,真空爐等)。
♦檢漏技術(shù)(真空設(shè)備,車輛油箱,安全氣囊,包裝等)。
♦科研設(shè)備(核物理,聚變反應(yīng)研究,激光應(yīng)用等)。
♦照明用具行業(yè)(燈泡生產(chǎn))。
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