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詳細(xì)介紹
NanoCalc 薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)
薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以用來(lái)進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測(cè)量，對(duì)單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測(cè)量軟件的不同，可以分析單層或多層膜厚。
特點(diǎn)
可分析單層或多層薄膜
分辨率達(dá)0.1nm
適合于在線監(jiān)測(cè)
操作理論
的兩種測(cè)量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測(cè)量、橢圓光度法測(cè)量。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測(cè)量。
查找n和k值
可以進(jìn)行多達(dá)三層的薄膜測(cè)量，薄膜和基體測(cè)量可以是金屬、電介質(zhì)、無(wú)定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫(kù)，用戶也可以自己添加和編輯。
應(yīng)用
NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚和去除率測(cè)量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測(cè)量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等。
NanoCalc系統(tǒng)
NC-UV-VIS-NIR | |
重量： | 250-1100nm |
厚度： | 10nm-70µm |
光源： | 氘鹵燈 |
NC-UV-VIS | |
重量： | 250-850nm |
厚度： | 10nm-20µm |
光源： | 氘鹵燈 |
NC-VIS-NIR | |
重量： | 400-1100nm |
厚度： | 20nm-100µm (可選1µm-250µm) |
光源： | 鹵燈 |
NC-VIS | |
重量： | 400-850nm |
厚度： | 50nm-20µm |
光源： | 鹵燈 |
NC-NIR | |
重量： | 650-1100nm |
厚度： | 70nm-70µm |
光源： | 鹵燈 |
NC-NIR-HR | |
重量： | 650-1100nm |
厚度： | 70nm-70µm |
光源： | 鹵燈 |
NC-512-NIR | |
重量： | 900-1700 nm |
厚度： | 50nm-200µm |
光源： | 高亮度鹵燈 |
NanoCalc規(guī)格
入射角 | 90° |
層數(shù) | 3層以下 |
需要進(jìn)行參考值測(cè)量 | 是 |
透明材料 | 是 |
傳輸模式 | 是 |
粗糙材料 | 是 |
測(cè)量速度 | 100ms - 1s |
在線監(jiān)測(cè) | 可以 |
公差（高度） | 參考值測(cè)量或準(zhǔn)直(74-UV) |
公差（角度） | 參考值測(cè)量 |
微黑子選項(xiàng) | 配顯微鏡 |
顯示選項(xiàng) | 配顯微鏡 |
定位選項(xiàng) | 6"和12" XYZ 定位臺(tái) |
真空 | 可以 |
LS-3000高功率鹵素?zé)艄庠?/a>
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