SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEl通過PC控制來實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量。

SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計(jì)算厚度，折射率及吸光率。

波長(zhǎng)范圍:

380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選)

光學(xué)分辨率:

4.0 nm FWHM

測(cè)量精度:

厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

入射角:

70°

膜厚:

單透明膜1-5000 nm

光點(diǎn)尺寸:

2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 µm x 400 µm (可選)

采樣時(shí)間:

3-15s (最小)

動(dòng)態(tài)記錄:

3 seconds

機(jī)械公差 (height):

+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°

膜層數(shù):

至多32層

參考:

不用