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標(biāo)準(zhǔn)會(huì)員 | 第7年

看看壓阻式力傳感器一般是如何應(yīng)用的？

時(shí)間：2021/2/3
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　　壓力傳感器的種類很多，但是壓阻式力傳感器價(jià)格低廉，精度高，線性特性好，因此被廣泛使用。該傳感器采用集成工藝，將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，芯片外圍固定封裝在殼體中，引出電極引線。
　　壓阻式力傳感器也稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘性應(yīng)變計(jì)，后者需要通過(guò)彈性敏感元件間接感應(yīng)外力，但需要通過(guò)硅膜片直接感應(yīng)測(cè)得的壓力。硅膜片的一側(cè)是與待測(cè)壓力相連的高壓腔，另一側(cè)是與大氣相連的低壓腔。
 

壓阻式力傳感器

　　硅膜片通常設(shè)計(jì)成圓形，外圍固定，直徑與厚度之比約為20-60，四個(gè)P雜質(zhì)電阻條在N型局部圓形硅膜片中擴(kuò)散并連接以形成全橋。它們中的兩個(gè)位于壓應(yīng)力區(qū)域，另外兩個(gè)位于拉應(yīng)力區(qū)域，相對(duì)于膜片的中心對(duì)稱。硅圓柱敏感元件也沿硅圓柱表面的特定晶面的特定方向擴(kuò)散以形成電阻條。兩個(gè)抗拉應(yīng)力條和另外兩個(gè)抗壓應(yīng)力條形成一個(gè)全橋。
　　壓力是航空航天工業(yè)中的關(guān)鍵參數(shù)，對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力，分壓以及整個(gè)壓力場(chǎng)的測(cè)量要求很高的精度。壓阻式力傳感器是用于此目的的理想傳感器。例如，它用于測(cè)量直升機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布，測(cè)試發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)變形，葉柵的脈動(dòng)壓力以及機(jī)翼的抖動(dòng)。

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