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沸石轉(zhuǎn)輪吸附+廢氣焚化

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沸石轉(zhuǎn)輪吸附+廢氣焚化處理設(shè)備　　沸石轉(zhuǎn)輪吸附+廢氣焚化處理設(shè)備　　沸石濃縮轉(zhuǎn)輪的主要成分為高硅鋁比沸石的吸附劑，可利用沸石特定孔徑對(duì)于半導(dǎo)體及光電業(yè)主要有機(jī)污染物(IPA、Acetone、PGME、PGMEA)具高吸、脫附效率的特性，使原本具高風(fēng)量、低濃度的VOCs廢氣，經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)換成低風(fēng)量、高濃度的廢氣，降低后端終處理設(shè)備的成本

詳細(xì)介紹

沸石轉(zhuǎn)輪吸附+廢氣焚化處理設(shè)備

　　沸石轉(zhuǎn)輪吸附+廢氣焚化處理設(shè)備

　　沸石濃縮轉(zhuǎn)輪的主要成分為高硅鋁比沸石的吸附劑，可利用沸石特定孔徑對(duì)于半導(dǎo)體及光電業(yè)主要有機(jī)污染物(IPA、Acetone、PGME、PGMEA)具高吸、脫附效率的特性，使原本具高風(fēng)量、低濃度的VOCs廢氣，經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)換成低風(fēng)量、高濃度的廢氣，降低后端終處理設(shè)備的成本。

　　杰智取得目前沸石轉(zhuǎn)輪的日本大廠NICHIAS Corporation，中國(guó)臺(tái)灣及大陸地區(qū)沸石轉(zhuǎn)輪的代理權(quán)，此轉(zhuǎn)輪產(chǎn)品具有高溫脫附的技術(shù)，可在>300℃溫度下進(jìn)行高效率的脫附工作，使高沸點(diǎn)VOCs殘留問(wèn)題迎刃而解。

廢氣焚化爐

原理圖

　　沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)主要是由沸石濃縮轉(zhuǎn)輪串連熱焚化爐(Thermal Oxidizer：TO、RTO)所組成的高效率VOCs廢氣處理系統(tǒng)，先由沸石轉(zhuǎn)輪自排入的制程廢氣中吸附VOCs污染物，再以濃縮轉(zhuǎn)輪脫附而出的高濃度廢氣進(jìn)入溫度高于1,350℉(732ºC)的燃燒機(jī)中進(jìn)行分子破壞分解。

　　燃燒處理后的多余熱能將自動(dòng)運(yùn)用于預(yù)熱進(jìn)入燃燒機(jī)的高濃度廢氣，以及用于提供脫附濃縮轉(zhuǎn)輪污染物所需的熱氣。蜂巢式(honeycomb)沸石轉(zhuǎn)輪結(jié)構(gòu)吸附VOCs污染物所產(chǎn)生的壓降相當(dāng)?shù)?，可使風(fēng)車(chē)所需之電力減到最少。由于處理濃縮后的風(fēng)量?jī)H為進(jìn)入系統(tǒng)風(fēng)量的5%到20%，因此可相對(duì)縮小焚化尺寸，以維持更低的燃料成本。

　　專(zhuān)業(yè)設(shè)計(jì)及制造團(tuán)隊(duì)累積多年所超過(guò)250套沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)之實(shí)績(jī)及經(jīng)驗(yàn)，并將整體系統(tǒng)采預(yù)組及模塊化設(shè)計(jì)，使轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)具備了最小的空間需求，且提供了持續(xù)性及無(wú)人化的操控模式，而少量的更換零組件更確保高度的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。

　　產(chǎn)制的轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)當(dāng)濃縮倍率介于8倍到20倍之間時(shí)，能夠達(dá)到OCs95%~99%，甚至更高的處理效率。

　　★具有前后雙風(fēng)車(chē)搭配非偶合平衡風(fēng)管之揮發(fā)性有機(jī)廢氣凈化裝置(中國(guó)臺(tái)灣新型M310946、大陸新型1015573、韓國(guó)新型20-0443443)

　　★多孔道蜂巢狀吸附轉(zhuǎn)輪的水洗再生裝置(大陸新型1044099)

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