技術(shù)文章
百級(jí)無(wú)塵車間實(shí)驗(yàn)室人員進(jìn)出須知
發(fā)布時(shí)間:2019-5-31百級(jí)無(wú)塵車間實(shí)驗(yàn)室人員進(jìn)出須知
當(dāng)前,在芯片生產(chǎn)加工上的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的要求就是要高于*的,像這樣的高的要求標(biāo)準(zhǔn)主要是被應(yīng)用在在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上, 而業(yè)內(nèi)稱之為的1K級(jí)別的就是微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米 1000個(gè)以內(nèi)。所以,百級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修進(jìn)入過濾器無(wú)塵車間人員必須穿著無(wú)塵服與無(wú)塵鞋,并嚴(yán)格按以下順序進(jìn)入過濾器無(wú)塵車間:
1、戴上無(wú)塵帽(頭發(fā)不可露出)。
2、戴上無(wú)塵口罩。
3、穿著無(wú)塵衣(拉上拉鏈后,扣好頸部頭罩)。
4、穿上無(wú)塵鞋。
5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。
6、著裝完成照鏡檢查服裝儀容。
7、進(jìn)入風(fēng)淋室。
8、進(jìn)入ZC 風(fēng)淋室雙門互鎖后自動(dòng)吹淋,聽從風(fēng)淋室語(yǔ)音提示,擺動(dòng)身體,吹凈時(shí)間15秒。
9、在過濾器無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修后,動(dòng)作宜輕緩、以免影響層流及生產(chǎn)大量微塵。
10、工廠稽查小組對(duì)過濾器無(wú)塵車間潔凈紀(jì)律,每日不定期稽查并記錄分配各班組改善。
無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修的潔凈級(jí)別主要是根據(jù)每立方米的空氣當(dāng)中粒子的直徑大于標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)量來規(guī)定的。也就是把微??刂圃谝粋€(gè)非常小的單位上,在常規(guī)當(dāng)中就是說符合微粒的顆粒在我們常見的灰塵當(dāng)中是小 的微乎其微,而對(duì)于那些生產(chǎn)上來說,哪怕一點(diǎn)點(diǎn)的,很少很少的灰塵也會(huì)產(chǎn)生很壞的負(fù)面影響的。上百級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)裝修的標(biāo)準(zhǔn)的*就是每立方米將小于0.5 微米粒徑的微 塵數(shù)量控制在 3500個(gè)以下。
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