單晶硅爐的生長方式多種多樣，目前主流的是區(qū)熔法和直拉法兩種，但不管是哪一種生長方法，其對整個單晶硅爐生長過程的溫度要求都是相當(dāng)嚴(yán)苛的。作為單晶硅爐生長最重要的單晶硅爐，爐內(nèi)工作溫度一般在1400℃，而單晶硅爐的爐體材料一般是不銹鋼材料，其耐受溫度在300℃以下，如果爐體長期在大于300℃的高溫環(huán)境下工作，會由于不銹鋼材料的氧化導(dǎo)致爐體表面發(fā)黃并生銹腐蝕，大大縮短爐體壽命，影響企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。為了防止?fàn)t體工作溫度過高，必須對爐體進(jìn)行冷卻。本論文根據(jù)某企業(yè)單晶硅爐鑄錠爐對冷卻水的要求，結(jié)合生產(chǎn)中的各種實(shí)際情況，設(shè)計(jì)了一套PLC為核心的爐體冷卻控制系統(tǒng)對爐體進(jìn)行循環(huán)冷卻。

整個系統(tǒng)的核心內(nèi)容為工藝水冷卻水的恒壓變頻控制，除此之外，給工藝?yán)鋮s水降溫的冷卻塔冷卻水、冰機(jī)冷凍水的控制以及給廠房降溫的空調(diào)冷凍水的控制，備用水恒壓變頻控制以及三級供水系統(tǒng)是本文的重要研究內(nèi)容。通過實(shí)際生產(chǎn)運(yùn)行證實(shí)，不管投入運(yùn)行的單晶硅爐數(shù)量如何變化。