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廢氣凈化設(shè)備利用高頻高壓靜電的特殊脈沖放電方式（發(fā)射裝置每秒鐘發(fā)射上千億個(gè)高能離子），產(chǎn)生高密度的高能活性氧（介于氧分子和臭氧之間的一種過渡態(tài)氧），迅速與污染物分子碰撞，激活有機(jī)分子，并直接將其破壞；或者高能活性氧激活空氣中的氧分子產(chǎn)生二次活性氧，與有機(jī)分子發(fā)生一系列鏈?zhǔn)椒磻?yīng)，并利用自身反應(yīng)產(chǎn)生的能量維系氧化反應(yīng)，進(jìn)一步氧化有機(jī)物質(zhì)，生成二氧化碳和水以及其它小分子，而且可以在極短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到很高的處理效率。

由于上述過程是在常溫下進(jìn)行的，因此也稱為“低溫燃燒"過程，包括了許多種技術(shù)和作用，如*、·OOH的催化作用和紫外線作用，這是一個(gè)端復(fù)雜的物理過程，產(chǎn)生O₂、O₂-、O₂+、·OH、·H0₂、·O、O等氧簇聚集體，由于具有強(qiáng)的氧化能力，因此我們稱其為“活性氧"。

根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果，并結(jié)合國外采用氧化法處理惡臭的資料，基本確定AOE設(shè)備處理各種惡臭組分的機(jī)理和主要產(chǎn)物。惡臭污染物中主要含有的氣相污染物有H₂S、NH₃、CH₃SH、VOCs（揮發(fā)性有機(jī)化合物）等。活性氧去除上述污染物的主要途徑有兩條：一是在高能電子的瞬時(shí)高能量作用下，打開某些有害氣體分子的化學(xué)鍵，使其直接分解成單質(zhì)原子或無害分子；二是在大量高能電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和氧自由基、氫氧自由基（自由基因帶有不成對(duì)電子而具有很強(qiáng)的活性）等作用下的氧化分解成無害產(chǎn)物。

其反應(yīng)機(jī)理為：

H₂S + O₂、O₂-、O₂+  → SO₃ + H₂O

NH₃ + O₂、O₂-、O₂+  → NOx + H₂O

VOCs + O₂、O₂-、O₂+ → SO₃ +CO₂+ H₂O