~MUEGGE磁控管
MUEGGE公司擁有30年工業(yè)微波產(chǎn)品的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，始終為用戶提供可靠的技術(shù)及產(chǎn)品，我們提供的微波電源、發(fā)生器全部由微電腦控制，可實(shí)現(xiàn)任何接口的通訊對(duì)接。

MUEGGE公司擁有30年工業(yè)微波產(chǎn)品的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，始終為用戶提供可靠的技術(shù)及產(chǎn)品，我們提供的微波電源、發(fā)生器全部由微電腦控制，可實(shí)現(xiàn)任何接口的通訊對(duì)接。MUEGGE產(chǎn)品涵蓋了從微波工業(yè)加熱到等離子應(yīng)用的多種工業(yè)場(chǎng)合，同時(shí)還可以為科研機(jī)構(gòu)提供設(shè)備。3KW微控管總成3KW ME0118P-015AB3KW微控管3KW MB2658A-110EA2KW微波頭2KW MH2000S-218BB3KW微波頭3KW MH3000S-222BB3KW 微波電源3KW MX3000X-125KL 微波電源射頻電源線，40.68MHZ 60.00MHZ 81.36 100HZ 100MHZ德國(guó)射頻電源畜能器液壓畜能器，液壓油缸MUEGGE微波等離子源/ PECVD/鍍膜微波等離子PECVD
微波鍍膜 ，微波等離子清洗，微波等離子蝕刻

~~MUEGGE磁控管
MUEGGE微波發(fā)生器100KW100KW 915MHZ微波發(fā)生器MUEGGE微波電源微波電源，2450MHZ 20KWMUEGGE微波頭　磁控管頭緊促型微波頭，適用于等離子行業(yè)的用戶MUEGGE微波發(fā)生器5KW915MHZ5KW 915MHZ 微波發(fā)生器
用于制藥，木材烘干，陶瓷處理等R3T等離子蝕刻機(jī)/SU-8移除的快速等離子蝕刻技術(shù)：德國(guó)R3T高速等離子蝕刻機(jī)
等離子蝕刻，干法蝕刻機(jī)，灰化，去膠，SU-8移除，應(yīng)力消除，遠(yuǎn)程等離子源，MEMS（微機(jī)械零件加工），等離子干法蝕刻，親水性/斥水性改變，表面糙化處理。型號(hào)STP 2020，STP1010用于小樣板，＞20um/分鐘
MUEGGE磁控管1260W- 2450 MHz
- 1260 W Power Output(matched load)
- Water-cooled anode - Packaged magnet
- Probe output - approx.: 70 % efficiency
UEGGE磁控管2M265-M12WJ3KW 水冷磁控管
MUEGGE磁控管TYPE: 2M130-71 (Hitachi)
2050 W CW Magnetron
MUEGGE磁控管75KWMagnetron
Large Power Magnetron -
For Industrial Applications
Ceramic-Metal Construction
75 kW at 915 MHz
All Magnetron Support Equipment Available
MUEGGE磁控管6KW?2450 MHz
?6000 W Power Output (matched load)
?Water-cooled anode
?Packaged e-magnet
?Probe output
MUEGGE水冷磁控管 3KWFEATURES:
- 2455 MHz (+/-15MHz)
- Highest S-band Power Output - 3000W
- 70% efficiency, typical
- Water-cooled anode
- Coaxial launch into WR-340
- permanent magnet
MUEGGE磁控管 MB2568A2KW磁控管，水冷
MUEGGE微波頭　磁控管頭- 2 kW HF-Power output
- Open mounted
- Int.filament transformer
- Int. magnetron, water cooled
- Int. Temperature switch
- Int. Isolator
- Int. Stub-TunerMUEGGE同軸微波發(fā)生器 300WHF-POWER : 300W CW / 500W Pulse PULSEABLE : Up to 25kHz
FREQUENCY : 2,45GHz +-20MHzMUEGGE同軸微波發(fā)生器 500W- Continuous power control
- High efficiency
- Ripple <1% peak-to-peak
- Pulsable up to 25kHzMUEGGE微波等離子系統(tǒng)蝕刻率：
用于SU-8樣板，＞20um/分鐘
用于硅樣板，可以達(dá)到90um/分鐘
溫度控制達(dá)到120℃
基板尺寸達(dá)到460mm*460mm
MUEGGE等離子設(shè)備各向同性蝕刻
對(duì)于SU8去除超過(guò)20um/min
對(duì)硅多種樣品達(dá)90 um/min
對(duì)300mm晶片上光電保護(hù)層灰分達(dá)到10 um/min
SiN和BPSG：典型1 um/min
熱氧化物：典型250 nm/min
MUEGGE3短截調(diào)諧器-功率：3 KW
-頻率：2450MHz，+/- 50 MHz
-調(diào)節(jié)量：電壓駐波比（VSWR）10 (1KW)
MUEGGE自動(dòng)調(diào)諧器-調(diào)節(jié)范圍：VSWR<10:1

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