半導(dǎo)體刻蝕、gao端精密焊接所使用的氬、氦、氖等超高純稀有氣體，有著行業(yè)gong認(rèn)的嚴(yán)苛水分管控標(biāo)準(zhǔn)，先進(jìn)芯片制程對氣源霜點(diǎn)要求必須穩(wěn)定低于 - 80℃，微量水汽會(huì)直接破壞等離子工藝穩(wěn)定性，造成晶圓薄膜針孔、焊接焊縫氣孔等不可逆缺陷，常規(guī)檢測設(shè)備低溫量程不足、測量漂移嚴(yán)重，很難捕捉 ppmv 級(jí)微量水汽變化，而美國 EdgeTech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster，搭配 X3CC 深冷液冷傳感器，成為稀有氣體精制產(chǎn)線標(biāo)配檢測方案。
超高純稀有氣體精制工段全程布設(shè)美國 EdgeTech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster，依托冷鏡基準(zhǔn)式測量原理，儀器無長期零點(diǎn)漂移，檢測數(shù)據(jù)可溯源 NIST 計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，配套 ISO/IEC 17025 認(rèn)證校準(zhǔn)體系，檢測結(jié)果可直接用于產(chǎn)品質(zhì)檢與出廠判定。針對稀有氣體超低溫霜點(diǎn)監(jiān)測需求，X3CC 深冷液冷傳感器與美國 EdgeTech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 成套使用，傳感器采用 316 不銹鋼全流通結(jié)構(gòu)，耐高壓、無內(nèi)壁水汽吸附，搭配 - 15~0℃低溫二次冷卻液，極限降溫能力可達(dá) 125℃，穩(wěn)定實(shí)現(xiàn) - 90℃至 95℃全區(qū)間霜點(diǎn)測量，輕松覆蓋 - 80℃以下超低霜點(diǎn)監(jiān)測需求。
美國 EdgeTech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 提供 ±0.1℃超高精度可選配置，0.1ppmv 級(jí)細(xì)微水汽波動(dòng)均可實(shí)時(shí)反饋，當(dāng)稀有氣體干燥純化設(shè)備吸附填料性能衰減、微量水汽穿透氣路時(shí)，霜點(diǎn)數(shù)值會(huì)出現(xiàn)微弱上浮，普通露點(diǎn)設(shè)備無法識(shí)別該早期隱患，美國 EdgeTech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 能第一時(shí)間捕捉數(shù)值變化，通過內(nèi)置雙路報(bào)警繼電器推送預(yù)警信號(hào)，工作人員可及時(shí)切換再生流程，杜絕不達(dá)標(biāo)稀有氣體流入充裝、輸送環(huán)節(jié)。
從稀有氣體精餾提純、鋼瓶分裝到半導(dǎo)體廠區(qū)大宗特氣供氣柜，美國 EdgeTech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 實(shí)現(xiàn) 7×24 小時(shí)不間斷在線值守。設(shè)備自帶光學(xué)自動(dòng)校正功能，抵消氣流中微量雜質(zhì)對鏡面測量的干擾，傳感器鏡面拆裝清洗便捷，大幅降低高純工況下的運(yùn)維頻次；4-20mA 模擬量、RS232 數(shù)字信號(hào)可無縫對接工廠 DCS 中控系統(tǒng)，霜點(diǎn)、水汽 ppmv 數(shù)值實(shí)時(shí)可視化，全程留存完整生產(chǎn)監(jiān)測數(shù)據(jù)。
依托美國 EdgeTech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 與 X3CC 深冷液冷傳感器的組合優(yōu)勢，稀有氣體生產(chǎn)企業(yè)穩(wěn)定把控氣源超低霜點(diǎn)指標(biāo)，從源頭消除微量水分帶來的產(chǎn)品質(zhì)量隱患，為 7nm 先進(jìn)芯片制造、gao端特種焊接提供穩(wěn)定可靠的超高純稀有氣體品質(zhì)保障
