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英肖儀器儀表(上海)有限公司
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英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP—— 半導體光伏高純保護氣水分管控

時間:2026/6/29
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半導體芯片制造、光伏電池生產(chǎn)對高純氮氣、氬氣等保護氣純度要求嚴苛,微量水汽便是生產(chǎn)隱形污染源。水汽接觸高溫晶圓、硅片會快速發(fā)生氧化反應,生成氧化缺陷層,造成芯片電路漏電、光伏電池片轉換效率下降,批量產(chǎn)品出現(xiàn)瑕疵報廢。為精準管控高純保護氣水分、規(guī)避氧化損耗,行業(yè)普遍采用英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP 開展全流程氣體露點抽檢。

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半導體產(chǎn)線涵蓋晶圓沉積、刻蝕、光刻、封裝多道工序,光伏車間包含硅料拉晶、電池鍍膜、組件封裝等環(huán)節(jié),各工序保護氣管路、儲氣鋼瓶、干燥純化設備均需頻繁巡檢。傳統(tǒng)檢測設備預熱久、易受環(huán)境潮氣干擾,測量數(shù)據(jù)偏差大,而英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP 搭載專屬干燥劑除濕頭,閑置時傳感器自動隔絕外界空氣保持干燥,抵達任意檢測點位無需長時間等待,快速讀取穩(wěn)定露點數(shù)值,大幅提升高純保護氣巡檢效率。
把控高純保護氣露點、阻斷水汽污染,英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP 擁有適配行業(yè)的專業(yè)測量能力。儀器配備多量程氧化鋁傳感探頭,光伏與半導體常用 B 型、P 型傳感器,測量區(qū)間覆蓋 - 100℃~+20℃露點,可精準捕捉 ppb 級微量水分波動,分辨率 0.1℃、重復性優(yōu)于 ±0.5℃,運維人員使用英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP 對比純化設備進出口露點,能快速判斷分子篩純化裝置是否失效,從氣源端降低水汽含量,從根源避免晶圓、電池片氧化瑕疵。
潔凈車間多點位流動檢測場景下,英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP 便攜耐用優(yōu)勢顯著。整機體積小巧,標配 2 米 PTFE 潔凈取樣軟管與皮質便攜肩帶,單人可穿梭光伏拉晶爐、半導體刻蝕腔體、特氣管道各點位;六節(jié) C 型電池供電,連續(xù)運行可達 150 小時,全天不間斷巡檢無需頻繁更換電源。英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP 自帶現(xiàn)場自動校準功能,無需配套標準氣源,操作人員簡單調節(jié)面板電位器即可完成校驗,檢測數(shù)據(jù)可溯源國際濕度標準,滿足半導體、光伏工廠生產(chǎn)臺賬與客戶審核要求。
同時英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP 具備 ATEX、IECEx 本質安全認證,產(chǎn)區(qū)內(nèi)易燃易爆特種氣體環(huán)境也可安全使用,316 不銹鋼過濾探頭不會給高純氣體引入顆粒雜質。長期依靠英國 SHAW 肖氏便攜式露點儀 SADP 常態(tài)化監(jiān)測高純保護氣露點,穩(wěn)定管控氣體水分指標,有效減少晶圓氧化缺陷、光伏電池片不良品產(chǎn)出,降低原料損耗與返工成本,保障半導體、光伏生產(chǎn)線持續(xù)穩(wěn)定高效運轉


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