半導(dǎo)體與光伏制造高度依賴氮氣、氬氣、硅烷等高純工藝氣體，氣體內(nèi)微量水汽是隱形生產(chǎn)隱患。水汽接觸晶圓會快速生成氧化層，造成光刻圖案偏移、薄膜針孔缺陷；光伏鍍膜工序中水分會破壞涂層附著力，直接拉低芯片、電池片良率，給企業(yè)帶來高額報廢損失。想要精準(zhǔn)管控特氣水分、穩(wěn)定產(chǎn)品良率，英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀是產(chǎn)線巡檢、氣源抽檢的核心檢測設(shè)備。
高純氣體露點管控精度要求ji高，普通露點儀易受環(huán)境潮氣干擾，數(shù)據(jù)失真無法精準(zhǔn)判斷水分超標(biāo)問題，而英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀搭載肖氏專li干燥艙結(jié)構(gòu)，兩次檢測間隔用干燥劑wan全隔離傳感器，隔絕潔凈室外界濕氣干擾，每次檢測數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀配備多量程氧化鋁傳感器，銀色、紫色型號zui。低可測 - 100℃超低露點，分辨率 0.1℃，準(zhǔn)確度 ±2℃，可精準(zhǔn)捕捉氮氣、氬氣、硅烷中 ppb 級微量水分變化，快速定位供氣管道、純化裝置、鋼瓶氣源的濕度異常點。
半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)線停機(jī)成本高昂，傳統(tǒng)露點儀校準(zhǔn)流程繁瑣，需配套標(biāo)準(zhǔn)氣源占用大量生產(chǎn)時間，英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀自帶 AutoCal 自動校準(zhǔn)功能，無需專業(yè)設(shè)備與技術(shù)人員，現(xiàn)場簡單操作即可完成校準(zhǔn)，大幅縮短檢測停機(jī)時長，降低運維成本。巡檢人員攜帶英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀，可穿梭于特氣房、刻蝕腔體、鍍膜車間、氣瓶倉庫多點抽檢，設(shè)備自重不足 1.75kg，機(jī)身小巧輕便，適配潔凈室移動檢測需求。
面對車間粉塵、微量腐蝕性工藝氣體，英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀防護(hù)等級達(dá) IP66，配備 316 不銹鋼 50μm 燒結(jié)過濾器，阻擋顆粒雜質(zhì)保護(hù)傳感器；內(nèi)置鋰電池支持 150 小時連續(xù)工作，全天多點巡檢無需頻繁充電。儀器可存儲 30 萬組檢測數(shù)據(jù)，搭配 USB、藍(lán)牙傳輸功能，使用英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀采集的露點數(shù)據(jù)可直接上傳電腦，生成長期趨勢報表，方便工程師追溯高純氣體水分波動規(guī)律，提前預(yù)判干燥純化設(shè)備失效。
同時英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀搭載中文操作界面，ppm (v)、℃等多單位自由切換，一線操作人員簡單培訓(xùn)即可上手。長期使用英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀常態(tài)化監(jiān)測各類高純特氣露點，能從源頭遏制水汽引發(fā)的晶圓氧化、薄膜缺陷問題，持續(xù)穩(wěn)定芯片與光伏電池良品率，減少原材料報廢損耗，為半導(dǎo)體、光伏企業(yè)提質(zhì)增效提供可靠保障
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