在半導(dǎo)體與電子制造領(lǐng)域，潔凈室環(huán)境中的每一個(gè)微量水分子都可能成為芯片生產(chǎn)的"隱形殺手"。超純氣體和高純氮?dú)庵腥魵埩暨^(guò)量水分，極易導(dǎo)致芯片表面氧化、電路腐蝕，進(jìn)而引發(fā)產(chǎn)品缺陷，造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失。如何在潔凈室中快速、準(zhǔn)確地檢測(cè)超純氣體和氮?dú)庵械奈⒘克?，成為半?dǎo)體企業(yè)品控環(huán)節(jié)的核心需求。英國(guó)SHAW公司推出的SDHmini便攜式露點(diǎn)儀，憑借其高精度與強(qiáng)適應(yīng)性，成為這一場(chǎng)景下的理想檢測(cè)工具。

輕便堅(jiān)固，深入潔凈室現(xiàn)場(chǎng)

半導(dǎo)體潔凈室對(duì)設(shè)備的體積、重量和潔凈度都有嚴(yán)格要求。SDHmini整機(jī)重量不到1.75kg，外殼達(dá)到IP66/NEMA 4X防護(hù)等級(jí)，可在－20℃至＋50℃的環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，輕松適應(yīng)千級(jí)甚至百級(jí)潔凈室的苛刻條件。內(nèi)置可充電鋰電池支持連續(xù)150小時(shí)操作，充電僅需12小時(shí)，滿足多班次連續(xù)巡檢的續(xù)航需求，減少因充電造成的檢測(cè)中斷。

高精度測(cè)量，守護(hù)芯片品質(zhì)

半導(dǎo)體制造對(duì)氣體純度要求ji高，露點(diǎn)通常需控制在－80℃以下。SDHmini搭載肖氏超高電容氧化鋁傳感器，測(cè)量范圍覆蓋－100℃至＋20℃露點(diǎn)，分辨率達(dá)0.1℃露點(diǎn)或0.1ppm(v)，準(zhǔn)確度為±2℃露點(diǎn)，重復(fù)性優(yōu)于±0.3℃露點(diǎn)。針對(duì)超純氣體檢測(cè)需求，用戶可選擇紫色型號(hào)（－100～0℃露點(diǎn)，0～6,000ppm(v)）或銀色型號(hào)（－100～－20℃露點(diǎn)，0～1,000ppm(v)），精準(zhǔn)覆蓋低露點(diǎn)檢測(cè)場(chǎng)景。同時(shí)支持℃、ppm(v)、ppm(w)、g/m3、lbs/MMscf等多種單位切換，方便直接對(duì)照SEMI等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判定。

自動(dòng)校準(zhǔn)，即測(cè)即用不停機(jī)

潔凈室檢測(cè)時(shí)間窗口緊張，傳統(tǒng)露點(diǎn)儀需攜帶標(biāo)準(zhǔn)氣體到現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，流程繁瑣且可能引入污染。SDHmini獨(dú)you的AutoCal自動(dòng)校準(zhǔn)技術(shù)，只需將傳感器短暫暴露于環(huán)境空氣中即可完成校準(zhǔn)，無(wú)需任何標(biāo)準(zhǔn)氣體或?qū)I(yè)技術(shù)人員，大幅降低了校準(zhǔn)成本與停機(jī)時(shí)間，讓檢測(cè)人員在任何潔凈室站點(diǎn)都能快速獲得可靠數(shù)據(jù)。

數(shù)據(jù)可追溯，助力良率提升

半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的完整性要求ji高。SDHmini可實(shí)時(shí)記錄多達(dá)300,000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，支持通過(guò)USB或藍(lán)牙傳輸至PC并打印。用戶可為多達(dá)20個(gè)獨(dú)立位置設(shè)置ID，方便對(duì)不同氣體管路、不同機(jī)臺(tái)的檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行分類歸檔，為潔凈室氣體質(zhì)量管理和良率分析提供完整的數(shù)據(jù)支撐。

從超純氣體驗(yàn)收到日常巡檢，英國(guó)SHAW SDHmini以其精準(zhǔn)、耐用、易用的特性，為半導(dǎo)體潔凈室的微量水分監(jiān)控提供了值得信賴的檢測(cè)方案，助力企業(yè)守護(hù)芯片品質(zhì)與生產(chǎn)良率