在半導體制造這一高科技領域，生產環(huán)境的穩(wěn)定性直接關乎產品的良率與性能。其中，潔凈室內的濕度控制尤為關鍵，任何微小的濕度波動都可能引發(fā)靜電積聚、材料吸附雜質等問題，進而影響產品質量與生產效率。在此背景下，英國SHAW公司推出的Superdew 3在線露點儀，憑借其穩(wěn)定的測量精度與可靠性，成為半導體制造潔凈室濕度控制的精密衛(wèi)士。

Superdew 3露點儀專為工藝氣體和壓縮空氣設計，采用Shaw高電容氧化鋁傳感器，結合xian進的數字電子技術，實現了對露點的高精度測量，系統(tǒng)精度優(yōu)于±2°C（±3.6°F）。這一特性使得它能夠精準捕捉潔凈室內濕度的細微變化，為生產環(huán)境控制提供可靠的數據支持。

半導體制造過程中，潔凈室內的濕度需嚴格控制在極窄范圍內，以確保晶圓加工、光刻、蝕刻等關鍵工序的順利進行。Superdew 3露點儀通過其實時監(jiān)測功能，能夠持續(xù)跟蹤潔凈室內的濕度變化，并通過易于閱讀的五字符LED顯示屏直觀展示數據，支持°C、°F、ppm(v)等多種單位顯示，極大地方便了操作人員的監(jiān)控與管理。

更為重要的是，Superdew 3露點儀配備了兩個wan全可編程的報警繼電器，當潔凈室內濕度超出預設安全范圍時，能夠立即觸發(fā)報警，提醒操作人員及時采取措施，防止?jié)穸犬惓ιa造成不良影響。這一功能對于保障半導體制造過程的連續(xù)性與穩(wěn)定性至關重要。

此外，Superdew 3露點儀的模擬輸出功能，使其能夠輕松集成到潔凈室環(huán)境控制系統(tǒng)中，實現遠程監(jiān)控與自動化調節(jié)。通過實時傳輸露點數據，操作人員可以精準掌握潔凈室內濕度變化趨勢，及時調整空調、除濕等設備運行參數，確保生產環(huán)境始終處于zui，佳狀態(tài)。

英國SHAW公司的Superdew 3在線露點儀，以其穩(wěn)定的測量精度、實時監(jiān)測能力與智能化控制功能，成為半導體制造潔凈室濕度控制的理想選擇，為半導體行業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了有力保障。

1. 儀器類型與用途：

• 類型：單通道在線露點儀        

• 用途：測量工藝氣體和壓縮空氣中的露點        

2. 外殼與防護：

• 面板安裝外殼防護等級：IP54        

• 前面板防風雨等級：IP65        

3. 傳感器技術：

• 傳感器類型：Shaw超高電容氧化鋁傳感器        

• 精度：整體系統(tǒng)精度優(yōu)于±2°C（±3.6°F）露點

• 分辨率：0.1°C，0.1°F露點或0.1 ppm(v)

• 重復性：優(yōu)于±0.3°C（±0.54°F）露點

4. 測量范圍：

• 紫色范圍（P）：-100°C至0°C露點，0-6000 ppm(v)        

• 銀色范圍（S）：-100°C至-20°C露點，0-1000 ppm(v)        

• 灰色范圍（G）：-80°C至0°C露點，0-6000 ppm(v)        

• 紅色范圍（R）：-80°C至-20°C露點，0-1000 ppm(v)        

• 藍色范圍（BL）：-80°C至+20°C露點，0-23000 ppm(v)        

5. 顯示與輸出：

• 顯示：五字符LED顯示屏，可顯示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf        

• 報警繼電器：兩個wan全可編程的報警繼電器        

• 模擬輸出：標配一個隔離的4-20 mA模擬輸出，量程可調        

6. 校準與功能：

• 校準功能：AutoCal校準功能，提供可追溯至國際標準的校準證書        

• 現場校準：支持現場校準和量程檢查        

7. 環(huán)境適應性：

• 工作溫度：-20°C至+60°C（-4°F至+140°F）

• 儲存溫度：-20°C至+70°C（-4°F至+158°F）

• 工作濕度：*高95%RH非冷凝

8. 電氣特性：

• 工作電壓：90至250 VAC 50/60 Hz或24 VDC

• 電磁兼容性：符合EN 61326:2006標準        

9. 機械特性：

• 工作壓力：從1 kPa（0.01 barA）到*大值35,000 kPa（350 barA）

• 探頭材料：316不銹鋼

• 傳感器保護裝置：316燒結不銹鋼過濾器，50微米

10. 質保與保修：

• 質保期：工藝和零件缺陷的12個月