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溶劑蒸氣清洗是指利用有機溶劑蒸汽進行清洗的方法。雖然蒸氣也有直接的清洗作用，但是主要還是利用液態(tài)溶劑的浸泡溶解作用，所以本質(zhì)上講蒸氣清洗仍是浸泡清洗的一種方式。這種方法適用于精密清洗。
蒸氣清洗原理:有機溶劑加到清洗槽的下部，并通過一定熱源對它進行加熱。當槽內(nèi)溶劑溫度達到它的沸點時，溶劑開始沸騰蒸發(fā)，槽的下半部充滿溶劑蒸氣，形成溶劑蒸氣相。由于在槽的上部有冷卻水管，蒸氣遇冷而凝結(jié)液化，從而防止蒸氣向槽外逸散損失，使蒸氣保持在槽內(nèi)。當把溫度低于溶劑蒸氣溫度的清洗對象安放在蒸氣相中時，由于清洗對象與蒸氣之間存在溫度差，蒸氣就在清洗對象表面凝結(jié)放熱并使清洗對象表面上的污垢溶解并分散在溶劑液體中，在重力的作用下含有污垢的溶劑從清洗對象的下方落入液相溶劑中。