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選購勻膠機要注意哪些方面
發(fā)布時間:2021-11-26選購勻膠機要注意哪些方面
勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。那么,你知道勻膠機如何選購嗎?
從其原理來說,可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
1.旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標定實時的轉(zhuǎn)速。勻膠機雖然大部分能標定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標準認定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認定標準的,
2.真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵要無油的,壓力標定準確,國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉(zhuǎn)。
3.材質(zhì)的選擇
對于半導體化工行業(yè)的應用來說,材質(zhì)的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如等型號都是采用聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。
以上就是關于勻膠機選購的相關內(nèi)容,通過以上內(nèi)容可以知道勻膠機的選購要注意三方面,一是旋轉(zhuǎn)速度,二是真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造,三是材質(zhì),希望對大家有所幫助。
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