詳細介紹
產(chǎn)品描述:
AVI-600 series為緊湊型的主動隔振系統(tǒng),是納米技術(shù)大型儀器隔振的解決方案。對升級和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來說是理想的選擇,主動式減震臺-主動式減振臺-主動減震光學(xué)平臺-herz avi 600series可自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸大小和配置,通過增加隔振模塊的數(shù)量可以增大系統(tǒng)的承重(承重可至9000磅)。
主動式減振臺-主動減震光學(xué)平臺-herz avi 600series廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振,以及半導(dǎo)體設(shè)備、大型、電子天平精密設(shè)備隔振。適用于各類大型顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,防震臺,輪廓儀防震臺,電子太平防震臺,超快激光系統(tǒng)防震臺,時頻系統(tǒng)防震臺,大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺,激光設(shè)備主動防震!

工作原理:
AVI系列主動隔振臺采用的隔振技術(shù),適用于任何科研環(huán)境下,該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動(包括水平方向和豎直方向),主動式減震臺-主動式減振臺-主動減震光學(xué)平臺-herz avi 600series利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等,方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機械共振。
產(chǎn)品特點:
- 主動隔振頻率1Hz – 200Hz
- 被動隔振頻率>200Hz
- 5-20ms的響應(yīng)時間
- 安裝簡單,容易使用
- 穩(wěn)定性高,能連續(xù)使用多年
- 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計
- 控制器帶數(shù)字LED顯示屏
產(chǎn)品應(yīng)用:
- SEM
- TEM
- UHV-SPM
- 光刻
- 隧道顯微鏡
- Fabry-Perot干涉儀
- 大型對振動敏感的儀器設(shè)備
性能優(yōu)勢:
- 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
- 六個空間方向的自由隔振
- 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機械共振
- 低頻隔振性能優(yōu)秀
- 無低頻共振、無空氣要求
兼容性:
AVI-600 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)(負(fù)載能力:1200kg):

隔振實例:

固潤光電針對高精密測試提供減震隔音消磁一體化解決方案,請根據(jù)鏈接了解我們的隔音箱和消磁器。
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