主動隔振光學平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列 是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設備產(chǎn)生的不必要振動，以提高精密設備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz，被動隔振頻率200Hz。廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振，以及半......

產(chǎn)品描述：

主動隔振光學平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列 是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設備產(chǎn)生的不必要振動，以提高精密設備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動隔振頻率>200Hz。

廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振，以及半導體設備、干涉儀、電子天平精密設備隔振。適用于各類大型顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統(tǒng)防震臺，時頻系統(tǒng)防震臺，大型半導體設備防震臺，激光設備主動防震！

工作原理：

主動隔振光學平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

主動隔振光學平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列采用的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。Herz AVI系列利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

性能優(yōu)勢：

• 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
• 六個空間方向的自由隔振
• 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機械共振
• 低頻隔振性能優(yōu)秀
• 無低頻共振、無空氣要求

兼容性：

AVI-200 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)（負載能力：高達400kg) :

隔振效果：