純蒸汽通常是以純化水為原料水， 通過純蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生的蒸汽，純蒸汽冷凝時(shí)要滿足注射用水的要求。軟化水、去離子水和純化水都可以作為的原料水，經(jīng)蒸發(fā)，分離（去除微粒及細(xì)菌內(nèi)毒素等污染物）后，在一定壓力下輸送到使用點(diǎn)。
通常是由一個蒸發(fā)器、分離裝置、預(yù)熱器、取樣冷凝器、閥門、儀表和控制部分等組成。設(shè)備取樣器，用于在線檢測純蒸汽的質(zhì)量，其檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)是純蒸汽冷凝水是是

原料水通過泵進(jìn)入蒸發(fā)器管程與進(jìn)入殼程的工業(yè)蒸汽時(shí)行換熱，原料水蒸發(fā)后通過分離器進(jìn)行三級分離（重力分離、折返分離、螺旋分離）變成純蒸汽，由純蒸汽出口輸送到使用點(diǎn)。純蒸汽在使用之前要進(jìn)行取樣和在線檢測，并在要求壓力值范圍內(nèi)輸送到使用點(diǎn)。純蒸汽可用于溫?zé)釡缇推渌に嚕O(shè)備和管道的消毒。其冷凝物直接與設(shè)備或物品表面接觸，或者接觸到用以分析物品性質(zhì)的物料。純蒸汽還用于潔凈廠房的空氣加濕，在這些區(qū)域內(nèi)相關(guān)物料直接暴露在相應(yīng)凈等級的空氣中。