Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器

耐腐蝕，精度1%

型號(hào)：SEC-E440J，NH3, 7SLM；SEC-E440J，SiH4，500sccm

E440J系列已經(jīng)停產(chǎn)，用N112系列替代：N112MGM。

 Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器電磁控制閥金屬密封質(zhì)量流量控制器，又稱(chēng)流量計(jì)，可用于腐蝕性干燥氣體，在光伏中PECVD中有光伏應(yīng)用。

金屬密封;
電磁控制閥;
可優(yōu)化響應(yīng)時(shí)間;
自動(dòng)歸零功能;
集成報(bào)警功能;
閥電壓檢測(cè)功能;
電磁控制閥可*關(guān)閉;

 Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器

氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼，PTFE(聚四氟乙烯)
精度：<±1.0% F.S.
線(xiàn)性度：<± 0.5% F.S.
重復(fù)性：<± 0.2% F.S.
流量控制范圍：2 ~ * F.S.
響應(yīng)速度：< 1秒

 
滿(mǎn)量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm

本公司同時(shí)提供美國(guó)AALBORG、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器