詳細(xì)介紹
Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器
耐腐蝕,精度1%
型號(hào):SEC-E440J,NH3, 7SLM;SEC-E440J,SiH4,500sccm
E440J系列已經(jīng)停產(chǎn),用N112系列替代:N112MGM。
Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器電磁控制閥金屬密封質(zhì)量流量控制器,又稱(chēng)流量計(jì),可用于腐蝕性干燥氣體,在光伏中PECVD中有光伏應(yīng)用。
金屬密封;
電磁控制閥;
可優(yōu)化響應(yīng)時(shí)間;
自動(dòng)歸零功能;
集成報(bào)警功能;
閥電壓檢測(cè)功能;
電磁控制閥可*關(guān)閉;
Horiba SEC-E440J金屬密封質(zhì)量流量控制器
氣體接觸部件材料:SUS 316L不銹鋼,PTFE(聚四氟乙烯)
精度:<±1.0% F.S.
線(xiàn)性度:<± 0.5% F.S.
重復(fù)性:<± 0.2% F.S.
流量控制范圍:2 ~ * F.S.
響應(yīng)速度:< 1秒
滿(mǎn)量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm
本公司同時(shí)提供美國(guó)AALBORG、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器
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