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芯片行業(yè)對生產過程中的水質有很高的要求。超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質,是目前水質處理中的“天花板",芯片清洗使用超純水才能保障芯片的品質。但超純水的回用率不高,因此對高品質超純水的需求量巨大。根據芯片用水要求,超純水設備采用全自動電去離子超純水處理技術、預處理和反滲透處理,有效去除水中各種鹽類和雜質,進一步改善水質。出水水質*芯片生產用水要求。
芯片超純水設備通常由多介質過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等組成,預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、EDI系統(tǒng)、混床等構成主要工藝。水箱設有液位控制系統(tǒng),水泵設有高低壓保護裝置,水質在線檢測控制儀表,電氣采用模塊化組合PLC,通信遠傳至中控室上位機,實現(xiàn)現(xiàn)場就地控制和集中控制兩種運行方式。與其他同類產品相比,該設備具有更高的性價比和設備可靠性。
芯片超純水設備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質量的超純水,不會因樹脂再生而停止運行。設備的結構設計比較緊湊,占地面積小,可以為企業(yè)節(jié)省大量空間。超純水設備出廠都經過調試,運行故障概率小,日常維護、維修等操作非常簡單。芯片超純水設備還配備了反滲透預脫鹽技術,保證反滲透系統(tǒng)進水達標,避免膜元件的損壞,從根本上保證設備的出水質量。同時,芯片超純水設備廢水產量少,不會污染環(huán)境,具有很高的環(huán)境效益和經濟效益和廣闊的發(fā)展前景。為國內芯片自主研發(fā)產業(yè)提供堅實的“可控"基礎。


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