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由于集成電路在制作過程中對設(shè)計的需求朝著更精密更細小的趨勢發(fā)展,因而對純水水質(zhì)的要求也越趨嚴格,而超純水是一種除去水中離子之外,同時將水中之二氧化硅、顆粒物、細菌、有機物、微生物一并給予有限度的去除達到*純凈程度的水質(zhì),常被應(yīng)用在電子行業(yè)。
傳統(tǒng)的超純水制備工藝通常是采用離子交換樹脂進行制取,但采用離子交換樹脂停產(chǎn)需要進行樹脂再生,既耗費物理又耗費人工,而萊特萊德經(jīng)過多年實踐,同時結(jié)合膜分離技術(shù),采用反滲透結(jié)合EDI裝置相結(jié)合的工藝來制備超純水,其出水電阻率可達18 MΩ*cm(25℃),符合汽車芯片生產(chǎn)用水需求。
萊特萊德超純水設(shè)備采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度。超純水系統(tǒng)設(shè)備的脫鹽核心部件為反滲透膜組件、EDI系統(tǒng)和拋光混床,超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分,反滲透主機部分,后處理部分共同組成,主要具有以下優(yōu)勢:
1、無需酸堿再生:在混床中樹脂需要用化學(xué)藥品酸堿再生,而EDI則消除了這些有害物質(zhì)的處理和繁重的工作。保護了環(huán)境。
2、連續(xù)、簡單的操作:在混床中由于每次再生和水質(zhì)量的變化,使操作過程變得復(fù)雜,而EDI的產(chǎn)水過程是穩(wěn)定的連續(xù)的,產(chǎn)水水質(zhì)是恒定的,沒有復(fù)雜的操作程序,操作大大簡便化。
3、降低了安裝的要求:超純水處理設(shè)備采用積木式結(jié)構(gòu),可依據(jù)場地的高度和靈活地構(gòu)造。模塊化的設(shè)計,使EDI在生產(chǎn)工作時能方便維護。
萊特萊德超純水設(shè)備具有抗污染能力強、節(jié)能環(huán)保、產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定、脫鹽率高、系統(tǒng)內(nèi)無死水等優(yōu)勢,出水水質(zhì)符合美國ASTM D5127電子及半導(dǎo)體業(yè)用純水水質(zhì)TypeE-1.2,高于中國國家電子級超純水標準GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標準。


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