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我國各大城市也在推動芯片、半導(dǎo)體等設(shè)備和零部件的研發(fā)。在長沙、合肥、上海、江蘇等地出臺發(fā)展“中國芯”的相關(guān)政策后,中國經(jīng)濟(jì)大省廣東也將在芯片產(chǎn)業(yè)上“發(fā)力”了。
在集成電路的生產(chǎn)過程中,大致可以分為三個部分:設(shè)計(jì)、制造和封測,并圍繞制造進(jìn)行一系列的過程。首先,上游晶圓材料是硅片,經(jīng)拉單晶、切割、清洗,得到合格的集成電路生產(chǎn)原材料。然后,根據(jù)設(shè)計(jì)的電路和輸入掩膜,在晶圓廠進(jìn)行芯片生產(chǎn)。生產(chǎn)完成后,就進(jìn)入第三部分封測環(huán)節(jié),封裝主要是切割和布線,然后將裸芯片放置在基板上,并作為一個整體進(jìn)行固定和封裝。需要在封裝前后進(jìn)行測試,以獲得合格的芯片產(chǎn)品。
在上述芯片生產(chǎn)過程中,每一道化學(xué)處理都離不開水,因此芯片行業(yè)對于生產(chǎn)用水的水質(zhì)要求也是相當(dāng)嚴(yán)格,因?yàn)橐坏┧|(zhì)不合格,或者是水中含有雜質(zhì),就會降低器件的性能,降低成品率,因此在生產(chǎn)時需要用到超純水。EDI超純水設(shè)備是決定芯片行業(yè)用水是否合格的關(guān)鍵。
EDI超純水設(shè)備通常由石英砂過濾器,活性碳過濾器,阻垢劑、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
EDI超純水設(shè)備具有抗污染能力強(qiáng)、節(jié)能環(huán)保、產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定、脫鹽率高、系統(tǒng)內(nèi)無死水等優(yōu)勢,出水水質(zhì)符合美國ASTM D5127電子及半導(dǎo)體業(yè)用純水水質(zhì)TypeE-1.2,高于中國國家電子級超純水標(biāo)準(zhǔn)GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標(biāo)準(zhǔn),助力我國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。


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