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硅與我們的生活息息相關,也成為很多產業(yè)創(chuàng)新的一個重要引擎。硅片因其技術成熟、成本穩(wěn)定、應用廣泛等特點,是目前用于制造半導體器件的主流材料。半導體硅片是半導體器件的主要載體。硅片作為半導體材料絕緣性好,制成的半導體器件穩(wěn)定性高,因而已被半導體產業(yè)所廣泛使用。
導體器件加工的硅片對純度有著*要求,通常要達到99.999999999%。在半導體制作工藝中,50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需要進行化學處理,而化學處理又與超純水有關水中的雜質會進入硅片,如帶入過量的雜質,就會導致器件性能下降,影響產品性能因此,制備高品質的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技術。
制備高品質的超純水--超純水設備
超純水設備在設計上,采用成熟、可靠、自動化程度高的兩級RO+EDI水處理工藝,確保處理后的超純水水質符合要求,水利用率高,運行可靠,經濟合理。關鍵設備及材料均采用可靠的產品,PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。大大節(jié)省人力成本和維護成本。使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
我國硅片產業(yè)起步較晚,技術積累相對落后。國內多家廠商,已經實現了12英寸主流半導體硅片的技術突破??梢灶A見,有了超純水設備的沖鋒陷陣,中國半導體產業(yè)未來的發(fā)展將會涌現出更多的“中國力量"。


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