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集成電路具有體積小，重量輕，引出線和焊接點少，壽命長，可靠性高，性能好等優(yōu)點，同時成本低，便于大規(guī)模生產(chǎn)。它不僅在工、民用電子設(shè)備如收錄機、電視機、計算機等方面得到廣泛的應(yīng)用，同時在軍事、通訊、遙控等方面也得到廣泛的應(yīng)用。用集成電路來裝配電子設(shè)備，其裝配密度比晶體管可提高幾十倍至幾千倍，設(shè)備的穩(wěn)定工作時間也可大大提高。
集成電路生產(chǎn)中，對于清洗用水的水質(zhì)有著很高的要求，一旦清洗用水中含有雜質(zhì)，就會產(chǎn)生水垢，影響其電阻率，影響其成品率，超純水設(shè)備生產(chǎn)的超純水的電阻率可達到18MΩ*cm(25℃)，符合集成電路清洗用水要求。
超純水的制作過程可以分為三個步驟：預(yù)處理、反滲透和離子交換。
首先是預(yù)處理。在制作超純水之前，需要對水進行預(yù)處理。這一步驟的目的是去除水中的雜質(zhì)和有機物，使水質(zhì)更加純凈。預(yù)處理主要包括機械過濾、活性炭吸附、超濾等工藝。機械過濾是將水通過濾網(wǎng)過濾，去除大顆粒雜質(zhì);活性炭吸附則是利用活性炭對水中的有機物進行吸附;超濾則是通過超濾膜對水進行過濾，去除細小的顆粒和有機物。
接下來是反滲透。反滲透是超純水制作的核心步驟。反滲透是利用半透膜對水進行過濾，將水中的雜質(zhì)、離子等有害物質(zhì)去除，從而得到純凈的水。反滲透膜通常采用的是薄膜復(fù)合材料，其孔徑只有幾納米，可以有效地去除水中的離子和雜質(zhì)。反滲透過程需要施加高壓，以便將水壓力驅(qū)動通過半透膜，去除水中的雜質(zhì)和離子。
最后是離子交換。離子交換是對超純水進行最后的精細處理，以確保水的純度達到最高。離子交換是將超純水通過離子交換樹脂床，去除水中的離子和雜質(zhì)。離子交換樹脂床通常采用的是陰離子交換樹脂和陽離子交換樹脂，可以有效地去除水中的離子和雜質(zhì)，從而得到純度更高的超純水。
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