聯(lián)系電話
萊特萊德（上海）技術(shù)有限公司
初級會員·7年
- 聯(lián)系人：
- 張經(jīng)理
- 電話：
- 手機：
- 13304008117
- 地址：
- 上海市閔行區(qū)力波中心26號
- 網(wǎng)址：
- www.laitelaide.com
掃一掃訪問手機商鋪
半導(dǎo)體器件的制造需要消耗大量的水，在器件制造的許多不同階段，水被用于表面清潔、濕法蝕刻、電鍍和化學(xué)機械平坦化等。半導(dǎo)體制造所需的水不是普通意義的水，是經(jīng)過嚴(yán)格處理，并符合半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)的超純水。
超純水是經(jīng)過高度純化的水，去除了所有礦物質(zhì)、顆粒、細(xì)菌、微生物和溶解的氣體。在芯片廠里，它也經(jīng)常會被混稱為去離子水，但國內(nèi)通常把去離子水與超純水分的比較開，其實去離子水是包含了超純水的范疇，超純水是標(biāo)準(zhǔn)更高的去離子水。
芯片廠為什么要使用超純水?
普通的水中含有氯，硫等雜質(zhì)，會腐蝕芯片中的金屬。如果水中有Na，K等金屬雜質(zhì)，會造成MIC(可動離子污染)等問題。因此芯片制造需要一個絕對干凈的水質(zhì)，超純水應(yīng)運而生。在芯片制造過程中，微小的雜質(zhì)或顆粒可能會導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品失效。因此不僅是水，其他各種半導(dǎo)體材料如化學(xué)品，氣體等都需要超高的純度。
芯片廠超純水的制備
超純水的制備通常包括三個階段：預(yù)處理階段，主處理階段，以及精化階段。
預(yù)處理階段：超純水的預(yù)處理階段是超純水制備過程的第一步，包括過濾，軟化，去氯，PH調(diào)節(jié)等步驟，主要目的是去除水中的顆粒、微生物、有機物和某些離子。
主處理階段：在這個階段，首先使用反滲透膜技術(shù)來去除水中的大部分溶質(zhì)。滲透是水分子從低濃度溶液通過半透膜到高濃度溶液的過程，以達(dá)到兩側(cè)的濃度均衡。反滲透則是利用壓力來使水分子反向通過半透膜，從而達(dá)到凈化水的目的。然后，使用離子交換和EDI等技術(shù)進行深度去離子化。
精化階段：在這個階段，根據(jù)制造端對水質(zhì)的要求，超純水處理設(shè)備通常會進行脫氣、微濾、超濾、紫外線照射等，以使水質(zhì)達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。
萊特萊德超純水工程的超純水設(shè)備經(jīng)過上面說到的多個單元處理之后，超純水設(shè)備的產(chǎn)水的電阻率可以達(dá)到18.18MΩ·cm左右，水中雜質(zhì)不但全部被去除，并且細(xì)菌微生物等物質(zhì)也不復(fù)存在，與此同時，礦物質(zhì)與微量元素也全部消除。
金门县|
雷州市|
石渠县|
普安县|
云和县|
乐清市|
塘沽区|
兴文县|
南皮县|
金华市|
资溪县|
安远县|
临夏市|
蕲春县|
西藏|
陈巴尔虎旗|
金昌市|
定远县|
方正县|
崇文区|
阿克苏市|
平舆县|
上饶市|
太康县|
黄骅市|
龙泉市|
新乡市|
灵寿县|
连平县|
岳普湖县|
北川|
和平县|
繁昌县|
阿拉尔市|
涟水县|
秦皇岛市|
沙湾县|
本溪市|
临朐县|
石屏县|
门源|