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超純水是一種十分純凈的水，其純度可以達到千萬分之一甚至更高的級別。超純水在電子、半導體、光學等領域有著廣泛的應用，是這些行業(yè)中的重要物質(zhì)。
集成電路生產(chǎn)中，對于清洗用水的水質(zhì)有著很高的要求，一旦清洗用水中含有雜質(zhì)，就會產(chǎn)生水垢，影響其電阻率，影響其成品率，超純水設備生產(chǎn)的超純水的電阻率可達到18MΩ*cm，符合集成電路清洗用水要求。
超純水的制作過程可以分為三個步驟：預處理、反滲透和離子交換。
1.預處理
在制作超純水之前，需要對水進行預處理。這一步驟的目的是去除水中的雜質(zhì)和有機物，使水質(zhì)更加純凈。預處理主要包括機械過濾、活性炭吸附、超濾等工藝。機械過濾是將水通過濾網(wǎng)過濾，去除大顆粒雜質(zhì);活性炭吸附則是利用活性炭對水中的有機物進行吸附;超濾則是通過超濾膜對水進行過濾，去除細小的顆粒和有機物。
2.反滲透
反滲透是超純水制作的核心步驟，也是最關鍵的一步。反滲透是利用半透膜對水進行過濾，將水中的雜質(zhì)、離子等有害物質(zhì)去除，從而得到純凈的水。反滲透膜通常采用的是薄膜復合材料，其孔徑只有幾納米，可以有效地去除水中的離子和雜質(zhì)。反滲透過程需要施加高壓，以便將水壓力驅(qū)動通過半透膜，去除水中的雜質(zhì)和離子。
3.離子交換
離子交換是對超純水進行最后的精細處理，以確保水的純度達到最高。離子交換是將超純水通過離子交換樹脂床，去除水中的離子和雜質(zhì)。離子交換樹脂床通常采用的是陰離子交換樹脂和陽離子交換樹脂，可以有效地去除水中的離子和雜質(zhì)，從而得到純度更高的超純水。
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