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半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水對TOC、DO、SIO2、Particulate的控制嚴(yán)格，達(dá)到PPb級，產(chǎn)水水質(zhì)要求在18.2MΩ·cm以上。
半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝流程
1.反滲透純水設(shè)備
RO反滲透膜的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過一層反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細(xì)菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而透過的純水和無法透過的濃縮水嚴(yán)格的分開;
反滲透膜上的孔徑只有0.0001um，而病毒的直徑一般有0.02-0.4um，普通細(xì)菌的直徑有0.4-1um。反滲透純水機的正常工作有賴于一定的壓力，這個壓力大于滲透膜的滲透壓，一般是2.8公斤/平方厘米。
在水壓或水壓不穩(wěn)定的地區(qū)，我們建議您一定要購買有前段增壓泵的反滲透純水系統(tǒng)，它的工作壓力可達(dá)0.3-0.6Mpa，不受自來水壓限制，制水效率高,速度快、排濃縮水少。
反滲透有效的除鹽，一級反滲透設(shè)備出水電阻率一般在0.05-0.5MΩ·CM。此純水系統(tǒng)產(chǎn)水品質(zhì)穩(wěn)定，是目前比較通用的純水生產(chǎn)設(shè)備，生產(chǎn)品質(zhì)基本滿足FPC/PCB生產(chǎn)需求。
2.EDI電除鹽超純水系統(tǒng)
連續(xù)電除鹽(EDI)，是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程。這一過程離子交換樹脂是電連續(xù)再生的，因此不需要使用酸和堿對之再生。
這種新技術(shù)可以替代傳統(tǒng)的離子交換裝置，生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ·CM的超純水。整個工藝流程前面的部分和常規(guī)的水處理工藝沒有很大區(qū)別，一般是先經(jīng)過預(yù)處理，然后加藥殺毒，再經(jīng)過RO反滲透系統(tǒng)，再使用EDI設(shè)備制取超純水。
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