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超純水是電子行業(yè)中常用的術(shù)語，但在其他行業(yè)諸如太陽能光伏，制藥，發(fā)電以及研究實(shí)驗(yàn)室等也被使用到。雖然每個(gè)行業(yè)都使用所謂的“超純水"，但質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)各不相同。即使在電子行業(yè)中，不同應(yīng)用諸如半導(dǎo)體、液晶面板及各種電子元器件對超純水的要求也各不相同。其中半導(dǎo)體中代表了“超純水"使用的高等級，這也是我們在此要討論的內(nèi)容。
超純水制備主要包括以下三個(gè)階段，即初步吸附過濾階段、反滲透凈化階段和樹脂離子交換階段。其中，離子交換即是將水中的正離子與離子交換樹脂中的H+離子交換，水中的負(fù)離子與離子交換樹脂中的OH-離子交換，從而達(dá)到純化水的目的。具體說來主要有以下步驟：
1.原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。
2.預(yù)處理系統(tǒng)：原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統(tǒng)。
3.雙級反滲透系統(tǒng)：保安過濾器、高壓泵RO、反滲透系統(tǒng)。反滲透膜可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。
4.EDI系統(tǒng)：EDI的作用就是通過除去電解質(zhì)(包括弱電解質(zhì))的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。
5.拋光樹脂：無化學(xué)析出的核子級樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質(zhì)，使水質(zhì)達(dá)到18MΩ·cm以上。
6.終端超濾：能有效地去除水中的微粒、膠體、細(xì)菌、熱源和有機(jī)物力。是整套系統(tǒng)最后的防火墻，確保產(chǎn)出的高純水不受二次污染。
就目前來看，EDI超純水設(shè)備行業(yè)內(nèi)競爭非常激烈，國內(nèi)就有很多制造超純水設(shè)備的廠家，在*的超純水制備工藝的前提下，國產(chǎn)超純水設(shè)備受到了人們的青睞，國產(chǎn)超純水設(shè)備同樣能夠做到出水質(zhì)量的高純度。
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