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超純水設(shè)備將心比“芯”

2021-11-1  閱讀(314)

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  IPC的一項新調(diào)查顯示,全球芯片短缺可能會持續(xù)很長一段時間,而專業(yè)工人的缺乏和成本的上升進一步加劇了芯片短缺的趨勢。然而,80%的芯片制造商表示,很難找到受過正規(guī)培訓并能處理半導體制造所需劇毒化合物的工人。這一問題在北美和亞洲更為嚴重,與歐洲相比,這些地區(qū)的企業(yè)也面臨著不斷上升的勞動力成本。

  芯片制造過程非常復(fù)雜,其中一個非常重要的步驟就是芯片清洗。超純水起著重要作用。對于剛剛起步的國產(chǎn)芯片來說,清洗用水的純度直接影響成品芯片質(zhì)量。超純水設(shè)備將心比“芯",確保芯片清洗用水的品質(zhì)。超純水設(shè)備一般由石英砂過濾器、活性炭過濾器、阻垢劑、精密過濾器等組成,預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電脫鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng),可連續(xù)穩(wěn)定制備高質(zhì)量超純水。

  反滲透系統(tǒng)利用反滲透原理去除水中溶解的鹽、有機物、膠體和大分子。降低水質(zhì)中的離子含量。EDI是結(jié)合離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)的超純水制造技術(shù)。它不需要酸堿再生,是一種新的脫鹽方法。超純水設(shè)備無需回收化學藥劑即可處理超純水,運行成本低,自動化程度高,連續(xù)運行,出水水質(zhì)穩(wěn)定,出水電阻率高≥ 15mΩ·cm。超純水處理系統(tǒng)末端凈化器采用精處理混床。設(shè)計、制造和生產(chǎn)的半導體級混床離子交換樹脂可將水中離子含量降至ppb級,出水電阻率可達18.2mΩ·cm。這足以確保芯片生產(chǎn)用水的純度。


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