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超純水設(shè)備助力硅晶圓提高“純度”

2021-10-12  閱讀(1756)

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  半導(dǎo)體材料的市場規(guī)模不算很大,但其內(nèi)部材料種類繁多,單一產(chǎn)品市場規(guī)模小、技術(shù)要求高、子行業(yè)之間差異較大。其中硅片占比半導(dǎo)體材料市場銷售額高達36.6%,是晶圓廠采購材料中重要的環(huán)節(jié)。

  硅材料因其具有單方向?qū)щ娞匦?、熱敏特性、光電特性、摻雜特性等優(yōu)良性能,可以生長為大尺寸高純度晶體,且儲量豐富、價格低廉,故而成為全球應(yīng)用廣泛、重要的半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料,并發(fā)揮著重要的行業(yè)支撐作用。

  硅晶圓是硅元素進行純化之后的一種化工材料,在制造電路的實驗半導(dǎo)體當中,經(jīng)常會使用到這種材料。目前全球半導(dǎo)體市場中,90%以上的芯片和傳感器都是基于硅材料制造而成,廣泛應(yīng)用于IC、LED、MEMS、分立器件等領(lǐng)域。

  硅晶圓對純度要求*,因此對于水質(zhì)也有著超高的要求,超純水設(shè)備生產(chǎn)的水質(zhì)可滿足行業(yè)用水需求。超純水設(shè)備采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備相結(jié)合的方式來制取超純水,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,與傳統(tǒng)方法相比,該設(shè)備具有以下優(yōu)勢:

  1、無需使用任何再生化學(xué)品進行再生。用EDI水處理過程中不需要添加任何化學(xué)品,減少了化學(xué)品運輸問題,同時降低了系統(tǒng)運行費用。

  2、無需中和藥劑。EDI膜塊不會有酸堿廢液產(chǎn)生,所以不需要酸堿中和池,一般情況下,EDI水處理系統(tǒng)產(chǎn)出的濃水*可以回收再利用。

  3、整套系統(tǒng)運行成本較低。EDI水處理設(shè)備主要是消耗電量來維持系統(tǒng)運行,其耗電量比傳統(tǒng)混床工藝低。

  我國是消費電子產(chǎn)品的生產(chǎn)國、出口國和消費國,在國家政策的扶持下,我國眾多電子企業(yè)紛紛開發(fā)硅晶圓研發(fā)新工藝,加上超純水設(shè)備的助力,能夠保證硅晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量,標志著我國硅晶圓產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

 

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