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電子濕化學品又稱超凈高純度試劑或工藝化學品,是指主要成分純度大于99.99%,雜質離子和顆粒數量符合嚴格要求的化學試劑。它是一種重要的晶圓制造材料。2020年市場規(guī)模占4%。高純度產品主要由上游硫酸、鹽酸、氫氟酸、氨、*、氫氧化鉀、丙酮、乙醇和異丙醇經預處理、過濾和純化而成。下游應用主要是光伏太陽能電池、平板顯示器和半導體,主要用于清晰度、蝕刻、摻雜、顯影、晶圓表面處理、薄膜去除、光刻膠去除等工藝。
硼是半導體生產中的一種P型雜質。過量會使N型硅反轉,從而影響電子和空穴的濃度。因此,在超純水工業(yè)中應充分考慮硼的去除。電子和半導體工業(yè)用超純水標準指南ASTM-D5127-13要求硼離子≤0.05μg/L。如果硼離子含量能夠達到較低的指標,則半導體的性能將得到改善。
電子濕化學品對清潔水的電導率、離子含量、TOC、DO和顆粒有特別嚴格的要求。我國常用的超純水標準有國標《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標《電子和半導體行業(yè)用超純水標準指南》ASTM-D5127-13)。美國標準對指標要求更嚴格。
Huncotte系統(tǒng)選用核級樹脂,可通過*的靶向離子交換樹脂有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量。采用IPC-MS檢測硼離子含量,并對硼離子流出物進行分析≤0.005μG/L遠低于硼離子的要求≤ASTM-D5127-13標準中E1.3中的0.05μg/L。相信更高質量的超純水品質可以為電子濕化學品帶來更好的性能,為電子濕化學品企業(yè)帶來更強的優(yōu)勢。


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