美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因ya力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21S系列數(shù)字式質量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、ya力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。

產(chǎn)品特點 ：

● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、ya力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質量流量和ya力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
● 內置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體（如介質是lv氣CL2 或 二氧化硫SO2，訂貨時，需特殊說明）
● 可現(xiàn)場標定混合氣體，并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術參數(shù) ：

介質要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類：內置了130種氣體，請咨詢

一臺設備內置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）

量程比：100:1

zui大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

重復性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

預熱時間：<1s

響應時間：100ms

標定工況：25ºC & 100kPa 絕ya、20ºC & 100kPa 絕ya、0ºC & 100kPa 絕ya (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-*,無冷凝

標準zui大工作壓力：1MPa 表ya

標準極限耐ya：1.2MPa 表ya

中壓選項：2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供電電ya：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭

材質：316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

防護等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電ya及

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