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產(chǎn)品簡介

硅片清洗機(jī)
※ 用于硅晶片清洗腐蝕；
※ 清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※ 工藝說明:手動方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。

詳情介紹

硅片清洗機(jī)
※用于硅晶片清洗腐蝕；
※清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※ 工藝說明:手動方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。

※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。

※ 腐蝕工藝自動補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性；

※ 工藝參數(shù)（溫度，時(shí)間，DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定；

※ 機(jī)臺前方為清洗工作區(qū)域，機(jī)臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。

※ 藥液供給及補(bǔ)液方式:分體式CDS自動供液系統(tǒng)

※ DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；