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微波烘干設備在多晶硅烘干中的貢獻
發(fā)布時間:2018-6-9 多晶硅可作拉制單晶硅的原料,多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質方面。例如,在力學性質、光學性質和熱學性質的各向異性方面,遠不如單晶硅明顯;在電學性質方面,多晶硅晶體的導電性也遠不如單晶硅顯著,甚至于幾乎沒有導電性。在化學活性方面,兩者的差異極小。多晶硅和單晶硅可從外觀上加以區(qū)別,但真正的鑒別須通過分析測定晶體的晶面方向、導電類型和電阻率等。多晶硅是生產單晶硅的直接原料,是當代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉換等半導體器件的電子信息基礎材料。
多晶硅微波烘干機采用*的微波源及其控制技術,確保微波源系統(tǒng)在各種復雜環(huán)境下*全天侯連續(xù)穩(wěn)定工作,其中磁控管的正常使用壽命≥1年;
采用按標準特制的微波傳輸系統(tǒng),對物料進行均勻饋能,確保物料干燥均勻,有效避免物料局部溫度過高的現(xiàn)象;
采用的數(shù)理模型,結合干燥工藝要求進行科學的腔體設計,確保脫水效率,同時避免腔體內“熱點”、“打火”、“濺料”、“燒帶”等不良現(xiàn)象的發(fā)生;
安全可靠的微波屏蔽設計,確保微波泄漏量<2mw/cm;,遠優(yōu)于國家標準;
多晶硅微波烘干機與傳統(tǒng)烘干方式(熱風,蒸氣,電加熱等)相比,微波烘干具有下列顯著“、、節(jié)能、環(huán)保”的特點:
①實現(xiàn)物料的和均勻烘干,同時可大幅降低烘干溫度;
②烘干速度通常提高數(shù)倍以上,生產效率大幅提高;
③烘干能耗通常降低50%以上;
④實現(xiàn)安全潔凈生產。
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