真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。它包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等,這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應用真空工藝過程中不可少的主力泵種。
隨著真空應用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。且隨著真空技術在生產(chǎn)和科學研究領域中,對其應用壓強范圍的要求越來越寬,大多都是需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學研究過程的要求。
由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍,只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要,有時會通過將各種真空泵按其性能要求組合起來的方法,以機組型式應用。伴隨著我國經(jīng)濟的快速發(fā)展,近幾年我國真空泵行業(yè)已經(jīng)實現(xiàn)了穩(wěn)定發(fā)展的模式。
真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的缺點是:a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便;b.整體結構不勻稱,泵的ZX偏向電動機和齒輪箱一側。
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