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空氣過濾器在微電子行業(yè)的應(yīng)用和發(fā)展趨勢
發(fā)布時間:2013-8-22
空氣過濾器的原型是人們?yōu)楸Wo(hù)呼吸而使用的呼吸保護(hù)器具。據(jù)記載,早在一世紀(jì)的羅馬,人們在提純水銀的時候就用粗麻制成的面具進(jìn)行保護(hù)。在此之后的漫長時間里,空氣過濾器也取得了進(jìn)展,但其主要是作為呼吸保護(hù)器具用于一些危險的行業(yè),如有害化學(xué)品的生產(chǎn)。1827年布朗發(fā)現(xiàn)了微小粒子的運(yùn)動規(guī)律,人們對空氣過濾的機(jī)理有了進(jìn)一步的認(rèn)識。
空氣過濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。玻璃纖維過濾介質(zhì)用于空氣過濾于1940年10月在美國取得。50年代,美國對玻璃纖維過濾紙的生產(chǎn)工藝進(jìn)行了深入的研究,使空氣過濾器得到了改善和發(fā)展。60年代, HEPA空氣過濾器問世,70年代,采用微細(xì)玻璃纖維過濾紙作為過濾介質(zhì)的HEPA過濾器,對013微米粒徑的粒子過濾效率高達(dá)99.9998%。八十年代以來,隨著新的測試方法的出現(xiàn)、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高,發(fā)現(xiàn)HEPA空氣過濾器存在著嚴(yán)重的問題,于是又產(chǎn)生了性能更高的ULPA空氣過濾器。目前,各國仍在努力研究,估計不久就會出現(xiàn)更*的空氣過濾器。
同時空氣過濾器在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用不論是普通過濾器還是FFU,出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。國內(nèi)目前沒有掃描測試方法標(biāo)準(zhǔn),能擠進(jìn)芯片廠的過濾器廠家是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對過濾器進(jìn)行掃描測試的。芯片廠的人認(rèn)為,過濾器傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣過濾器在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用,空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大,普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸,可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá),芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過濾器上多花點(diǎn)錢就是了。
空氣過濾器本身的設(shè)計也取得了顯著進(jìn)展,其中zui重要的是分隔板的去除,即無隔板過濾器的發(fā)展。無隔板過濾器不僅消除了分隔板損壞過濾介質(zhì)的危險,而且有效地增加了過濾面積,提高了過濾效率,并降低了氣流阻力,從而減少了能量消耗。
空氣過濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。玻璃纖維過濾介質(zhì)用于空氣過濾于1940年10月在美國取得。50年代,美國對玻璃纖維過濾紙的生產(chǎn)工藝進(jìn)行了深入的研究,使空氣過濾器得到了改善和發(fā)展。60年代, HEPA空氣過濾器問世,70年代,采用微細(xì)玻璃纖維過濾紙作為過濾介質(zhì)的HEPA過濾器,對013微米粒徑的粒子過濾效率高達(dá)99.9998%。八十年代以來,隨著新的測試方法的出現(xiàn)、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高,發(fā)現(xiàn)HEPA空氣過濾器存在著嚴(yán)重的問題,于是又產(chǎn)生了性能更高的ULPA空氣過濾器。目前,各國仍在努力研究,估計不久就會出現(xiàn)更*的空氣過濾器。
同時空氣過濾器在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用不論是普通過濾器還是FFU,出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。國內(nèi)目前沒有掃描測試方法標(biāo)準(zhǔn),能擠進(jìn)芯片廠的過濾器廠家是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對過濾器進(jìn)行掃描測試的。芯片廠的人認(rèn)為,過濾器傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣過濾器在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用,空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大,普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸,可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá),芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過濾器上多花點(diǎn)錢就是了。
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