當(dāng)前位置：東莞愛加真空科技有限公司>>真空系統(tǒng)升級(jí)改造、維修保養(yǎng)>>離子泵維修

離子泵維修

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：肖燕查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-10-17 09:01:42瀏覽次數(shù)：249次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自制藥網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

暫無(wú)信息

東莞愛加真空科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：25條

所在地區(qū)：廣東東莞市

聯(lián)系人：肖燕（經(jīng)理）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

離子泵維修1、在低壓下，當(dāng)陰極和陽(yáng)極間加上高壓時(shí)，引起場(chǎng)致發(fā)射

詳細(xì)介紹

離子泵維修

1、在低壓下，當(dāng)陰極和陽(yáng)極間加上高壓時(shí)，引起場(chǎng)致發(fā)射。

2、在電、磁場(chǎng)作用下電子作螺旋運(yùn)動(dòng)。

3、電子與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子和二次電子，引起雪崩效應(yīng)。正離子轟擊鈦陰極，濺散出鈦原子落在陽(yáng)極筒上，形成新鮮鈦膜，也有的落在陰板外圍區(qū)(β區(qū))。

4、活性氣體與新鮮鈦膜反應(yīng)形成化合物，化學(xué)吸附在陽(yáng)極筒內(nèi)壁。隋性氣體被電離，離子在電場(chǎng)作用下轟擊陰極過程中被排出。其排除方式為：
1)離子直接打入陰極表面內(nèi)或β區(qū)，斜射的離子切入陰極表面，離子和鈦一起被掀掉，埋葬在β區(qū)，
2)離子沒打入陰極內(nèi)，從陰極得一電子恢復(fù)為中性原子或分子，反射到陽(yáng)極內(nèi)表面被埋掉，這叫“荷能中性粒子反射”。

5、對(duì)于氫，由于其質(zhì)量小，氫離子轟擊鈦板的濺射產(chǎn)額甚低，氫離子 H2+ 或 H+ 打到鈦板上與電子復(fù)合變成H原子，然后擴(kuò)散入鈦的晶格內(nèi)，形成TiH固溶體而被排出。常溫下這種固溶體中H2的濃度為0.05％，當(dāng)溫度高于250oC以上時(shí)，便又開始分解放出氫。鈦大量吸氫后。由于放熱反應(yīng)鈦板溫度上升，達(dá)到250oC以后，除重新釋放氫之外并導(dǎo)致鈦板晶格膨脹造成龜裂。通常需加大鈦板的散熱能力來改善濺射離子泵對(duì)氫的排除能力。要提高對(duì)氫的抽速，需保持鈦板表面清潔，選用晶格常數(shù)較大的β-Ti或鈦合金作為陰極板，或引入與氫可比擬的氬含量。因氬的濺散產(chǎn)額高，可提高對(duì)氫的抽速。

其他推薦產(chǎn)品更多>>