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昆山新萊潔凈應(yīng)用材料股份有限公司

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SEMICON 2024 | 新萊集團邀您見證中國半導(dǎo)體制造業(yè)茁壯成長!

發(fā)布時間：2024-3-15

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新萊科技自2009年首次參加SEMICON China以來，十余年來緊密結(jié)合中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展特點和全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢，持續(xù)開發(fā)了真空系統(tǒng)產(chǎn)品與氣體系統(tǒng)產(chǎn)品關(guān)鍵零部件，產(chǎn)品包括真空管道、管件、角閥、門閥、傳輸閥，真空腔體及真空部件等，在氣體系統(tǒng)部分包含非超高純的卡套式球閥、三片式球閥、針閥、卸荷閥、過濾器等顫品，特別在超高純UHP部分有EP管道、管件、微型管件、面密封接頭(VCR)、UHP隔膜閥、UHP調(diào)壓閥、UHP波紋管閥等系列產(chǎn)品。

　　

　　亮點請先看— IGS 隔膜閥

　　本體材料最高階可選316L VIM/VAR 耐腐蝕強

　　閥座材料可耐高溫環(huán)境使用

　　膜片耐腐蝕性與可靠度擁有高穩(wěn)定性

　　最小的粒子生成和粒子截留區(qū)域

　　亮點請先看— FSR (ALD) 隔膜閥

　　高速驅(qū)動，超長循環(huán)壽命

　　電子或光學(xué)致動器位置感應(yīng)選項

　　適用于超高純度應(yīng)用，采用316L VIM-VAR不銹鋼閥體

　　

　　亮點請先看— IGS 調(diào)壓閥

　　本體材料最高階可選316LVAR 耐腐蝕強

　　閥座材料可耐高溫環(huán)境使用

　　膜片耐腐蝕性與可靠度擁有高穩(wěn)定性

　　亮點請先看— 高真空傳輸閥

　　半導(dǎo)體級，超低磨耗，低粉成塵

　　維護容易，維修簡易

　　長運行壽命

　　亮點請先看— 氣動兩段式真空角閥

　　閥門大開度，增加氣體流量

　　保養(yǎng)簡易，產(chǎn)品壽命長

　　亮點請先看— 模塊化氣體系統(tǒng)

　

　　采用模塊化設(shè)計，并集成了半兼容的表面安裝組件

　　隨著設(shè)備尺寸的減小，安裝和維護變得更加容易

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