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概述

寬量程真空計(jì) (WRG) 系列在從大氣壓到 10-9 mbar 的壓力下提供單接口壓力測量結(jié)果，并且提供線性輸出。它是緊湊型的解決方案，所需空間和連接硬件均減少了一半，這對很多應(yīng)用來說是重要的優(yōu)勢。WRG 具有很多新穎的特點(diǎn)，包括新的放電器、按鈕校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)控制和的診斷功能。WRG 是高效的真空管理解決方案，可以與 Edwards 控制器一起使用，也可以直接集成到系統(tǒng)控制中。

應(yīng)用

任何需要在很寬的范圍內(nèi)測量壓力的真空系統(tǒng)。具有 AGD 的 WRG 代表一種用于實(shí)現(xiàn)此目標(biāo)的簡單和極為高效的手段。
對于可能要將真空計(jì)直接集成到制程控制器中的工業(yè) OEM 而言，線性輸出和平衡使 WRG 成為一種富有吸引力的選擇。
WRG 適合在多種 HV 和 UHV 應(yīng)用中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之間花費(fèi)的時間多，Edwards 建議采用獨(dú)立的 APG100 皮拉尼真空計(jì)和 AIM 潘寧真空計(jì)，因?yàn)檫@樣將提高真空計(jì)在應(yīng)用中的性。

功能和優(yōu)勢

微處理器信號處理允許在皮拉尼和磁控管輸出以及線性輸出之間無縫轉(zhuǎn)換（記錄壓力刻度）
自動為皮拉尼真空計(jì)元件進(jìn)行真空設(shè)置
單一按鈕大氣設(shè)置
可輕松編程的設(shè)定點(diǎn)涵蓋整個測量范圍
磁控管使用的進(jìn)行高度的放電，即使在高真空或相對污染的環(huán)境下也無妨
通過降低點(diǎn)火后的 HT 電壓以及采用低放電電流，延長了維修間隔和真空計(jì)壽命
結(jié)構(gòu)極為緊湊，采用凹進(jìn)式電氣接頭
易于維修；皮拉尼和磁控管元件均可以單獨(dú)更換
綜合性故障模式診斷裝置
D 型包括電纜應(yīng)變消除和增強(qiáng)的灰塵防護(hù) (IP44)

數(shù)據(jù)

壓力范圍	大氣壓至 10-9 mbar/Torr
準(zhǔn)確度	通常為 ±15% <100 mbar 以及 ±30%<10-3 mbar
大過壓	6 bar (87 psia)
電源供給	+14.5 至 +36 V 直流
功耗	2 W（大）
輸出信號	1.8 至 10.2 V 直流
調(diào)節(jié)	大氣壓和設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)	開路集電極晶體管
大電壓	40 V 直流
電流	100 mA 大
溫度范圍
工作	+5 至 +60 oC
存儲	0 至 +70 oC
暴露于真空中的材料（NW 和 CF 型）	不銹鋼（AISI 304、316、321、347）、氟橡膠、鈉鈣玻璃、鎢、微量鎳和鎳鐵
內(nèi)部體積	26 cm3
重量	0.8 kg
外部接口連接器	8 路 FCC68/RJ45 插座
接口電纜	有源真空計(jì)電纜的使用范圍
標(biāo)準(zhǔn)
電磁兼容性	EN 61326 工業(yè)地點(diǎn)，B 類排放
機(jī)箱等級	IP40
針腳分配
1.電源供給正極	5.信號共用
2.電源供給共用	6.設(shè)定點(diǎn)輸出
3.壓力表輸出	7.大氣壓校準(zhǔn)
4.壓力表標(biāo)識	8.未連接