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Edwards TW 真空泵油 4升

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產(chǎn)品型號(hào)H11012013

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2025-03-20 09:09:07瀏覽次數(shù)：186次

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Edwards TW 是為旋轉(zhuǎn)泵油要暴露在活潑氣體或腐蝕性氣體中的應(yīng)用的。該油是蒸餾碳?xì)浠衔?，不含添加劑，但是已去除不飽和鏈和芳香鏈。因此，該油的持續(xù)時(shí)間多可達(dá)到精制礦物油的 20 倍，具體取決于制程。更長(zhǎng)的油的使用壽命可減少換油次數(shù)。

概述

我們強(qiáng)烈建議僅使用等級(jí)和質(zhì)量的液體和密封劑，以便使 Edwards 產(chǎn)品保持高性能。如果使用劣質(zhì)材料，可能會(huì)導(dǎo)致泵或系統(tǒng)效率降低、設(shè)備部分或故障以及嚴(yán)重的漏氣。我們認(rèn)為在許多嚴(yán)苛的應(yīng)用中，使用性未經(jīng)驗(yàn)證的液體和密封劑反倒不。我們的液體和密封劑均經(jīng)過(guò)正規(guī)實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)。而且，我們通過(guò)自行使用這些材料，以及通過(guò)與出現(xiàn)非典型問(wèn)題的用戶(hù)保持密切聯(lián)系，獲得了相當(dāng)豐富的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)。許多的設(shè)備性能不佳問(wèn)題終都是由于使用了不適當(dāng)或不合格的液體和密封劑而造成的，因此我們鄭重勸告您為應(yīng)用選擇正確的液體和密封劑。

基于礦物的材料
這些材料包括旋轉(zhuǎn)泵油、Diffstak 以及擴(kuò)散泵油和油脂。它們可針對(duì)不同的應(yīng)用選用添加劑。

基于硅的材料
這些材料用于 Diffstak 以及擴(kuò)散泵液體和油脂。它們由二甲基硅氧烷或苯基甲基硅氧烷構(gòu)成。

有機(jī)化合物
這些材料包括受阻酯類(lèi)、苯基醚類(lèi)和基于萘的化合物。它們適用于 Diffstak 和擴(kuò)散泵，但在有些的應(yīng)用中，也可以用作旋轉(zhuǎn)泵油。Edwards 可以對(duì)液體與特定應(yīng)用之間的匹配提供建議。

氟化材料 (PFPE)
這些材料是全氟聚醚。全氟聚醚是一種氟化的材料，沒(méi)有其他鹵素和氫，因此對(duì)要求不含碳?xì)浠衔锏那闆r有價(jià)值。它會(huì)對(duì) UF6、F2、O2、O3 等大多數(shù)活性化學(xué)物質(zhì)保持惰性，并且在暴露到電子和大多數(shù)離子輻射中時(shí)不會(huì)發(fā)生聚合反應(yīng)。全氟聚醚液體提供適用于旋轉(zhuǎn)泵的等級(jí)。還提供低蒸汽壓力的 Fomblin® 油脂 (AR555)，該油脂同時(shí)具有良好的潤(rùn)滑特性和的真空特性。

用于半導(dǎo)體應(yīng)用的 PFPE
在侵蝕性制程條件會(huì)快速破壞普通碳?xì)浠衔锉糜偷膽?yīng)用中，全氟聚醚 (PFPE) 化合物用量將出現(xiàn)大量增長(zhǎng)。這尤其適用于半導(dǎo)體制程中。PFPE 的防腐蝕特性和化學(xué)惰性可大大延長(zhǎng)工作時(shí)間，減少換油和維修次數(shù)，為許多嚴(yán)苛的泵應(yīng)用提供性?xún)r(jià)比的解決方案。以下為 PFPE 的基本特性及其在真空系統(tǒng)應(yīng)用中
的優(yōu)勢(shì)：

  • 化學(xué)惰性：是泵送腐蝕性材料的理想選擇，尤其適用于半導(dǎo)體制程。
  • 高抗氧化性：液體不會(huì)由于在工作溫度下反復(fù)暴露到空氣中而被破壞。
  • 非易燃：無(wú)火災(zāi)危險(xiǎn)。
  • 抗高溫：不會(huì)由于過(guò)熱而殘留焦油化合物。終減少氣態(tài)產(chǎn)物。
  • 氧相容：可地泵送氧氣（經(jīng) NASA 批準(zhǔn)的液氧系統(tǒng)）。對(duì)純氧建議的高工作溫度和壓力是 250 oC 和 91.4 kg cm-2 ，以及 60 oC 和 175.75 kg cm-2。
  • 無(wú)聚合反應(yīng)：暴露在高能粒子輻射下時(shí)不會(huì)發(fā)生聚合反應(yīng)（氫離子除外）。這可以減少回流蒸汽的影響，在不能出現(xiàn)聚合反應(yīng)的應(yīng)用中（例如在電子顯微鏡中）是一項(xiàng)重要特性。
  • 能與大多數(shù)常用溶劑混合：即使不使用氣囊，也可以泵送溶劑。
在加入 PFPE 之前，需要清潔泵，以便充分其性能優(yōu)勢(shì)。如果您沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)豐富的人員，建議您將泵送到 Edwards 維修中心進(jìn)行清潔和填充。有些可使用 PFPE 的高真空旋轉(zhuǎn)泵和機(jī)械增壓泵型號(hào)是作為標(biāo)配提供的，可以在此目錄的相應(yīng)章節(jié)中找到。這些泵是用 PFPE 進(jìn)行組裝和測(cè)試的。

說(shuō)明：全氟聚醚是氟化物，如果暴露在 280 °C 以上的溫度下，將釋放出有毒蒸汽。請(qǐng)勿將 PFPE 暴露在明火中，并且工作場(chǎng)合禁止吸煙。 

應(yīng)用

Edwards TW 是為液體要暴露在活潑氣體或腐蝕性氣體中的旋轉(zhuǎn)泵應(yīng)用的：

  • 蒸餾
  • 半導(dǎo)體

  • 化學(xué)泵


功能和優(yōu)勢(shì)

  • 該油是蒸餾碳?xì)浠衔?，不含添加劑，但是已去除不飽和鏈和芳香鏈。因此，該油的持續(xù)時(shí)間多可達(dá)到精制礦物油的 20 倍，具體取決于制程。更長(zhǎng)的油的使用壽命可減少換油次數(shù)。

數(shù)據(jù)

蒸汽壓力 mbar：
  20°C 1.3 x 10-6
  100°C -
分子量 430
15°C 時(shí)的比重 0.860
粘度 cSt：
 20°C 時(shí) 155
 40°C 時(shí) 65
傾點(diǎn) °C -12
閃點(diǎn) °C 243
自燃點(diǎn) °C 270
含硫量百分比（質(zhì)量/質(zhì)量） 0

25 °C 時(shí)的蒸汽壓力

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