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概述

Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實(shí)現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。

STP-L301(C) 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網(wǎng)。

如需完整安裝，請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。

應(yīng)用

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

的轉(zhuǎn)子

大的制程靈活性
無油
低振動
高度
免維護(hù)

的控制器設(shè)計

自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動
無電池運(yùn)行

緊湊型設(shè)計

占地面積小
半機(jī)架控制器

低振動

內(nèi)置振動隔離系統(tǒng)提供了 STP301C 和外部隔離器的性能。

技術(shù)データ

入口法蘭	ISO100，CF100
	KF25
吹掃口	KF10
抽速
N2	260 ls-1
H2	290 ls-1
壓縮比
N2	>108
He	5 x 105
H2	2 x 104
加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭）	6.5 x 10-6 Pa
	(5 x 10-8 Torr)
加熱時的極限壓力（ICF 法蘭）	10-8 Pa
	(10-10 Torr)
大允許進(jìn)氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	6.7 x 10-2 Pa
	(5 x 10-4 Torr)
大連續(xù)壓力（環(huán)境空氣冷卻）	13 Pa
	(0.1 Torr)
額定速度	48000 rpm
啟動時間	3 min
高入口法蘭溫度	120 °C
輸入電壓	100 至 120 (± 10) V 交流或
	200 至 240 (± 10) V 交流
啟動時的功耗	0.55 kVA
泵重量	13 kg
控制器重量	7 kg