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概述

Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實(shí)現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

此 STP 泵在供貨時(shí)帶有入口篩網(wǎng)。

如需完整安裝，請(qǐng)訂購(gòu)一臺(tái) STP 泵、一個(gè)控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。

應(yīng)用

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長(zhǎng)
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢(shì)

的轉(zhuǎn)子

大的制程靈活性
無(wú)油
低振動(dòng)
高度
免維護(hù)

的控制器設(shè)計(jì)

自動(dòng)調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
無(wú)電池運(yùn)行

緊湊型設(shè)計(jì)

占地面積小
半機(jī)架控制器

技術(shù)データ

入口法蘭	ISO100，CF100
	KF25
抽速
N2	300 ls-1
H2	300 ls-1
壓縮比
N2	>108
H2	>2 x 104
加熱時(shí)的極限壓力（VG/ISO 法蘭）	6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
加熱時(shí)的極限壓力（ICF 法蘭）	10-8 Pa (10-10 Torr)
大允許進(jìn)氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
大連續(xù)壓力（環(huán)境空氣冷卻）	13 Pa (0.1 Torr)
額定速度	48000 rpm
啟動(dòng)時(shí)間	3 min
高入口法蘭溫度	120 °C
輸入電壓	100 至 120 (± 10%) V 交流或
	200 至 240 (± 10%) V 交流
啟動(dòng)時(shí)的功耗	0.55 kVA
泵重量	11 kg
控制器重量	7 kg