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STP-iXA3306 真空磁懸浮渦輪分子泵

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號STP-iXA3306

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-03-20 07:08:13瀏覽次數(shù)：203次

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STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的 STPiXA3305 系列的新）。該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應(yīng)用工具的一體化解決方案。

製品概要

STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的 STPiXA3305 系列的新）。
該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應(yīng)用工具的一體化解決方案。

用途

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線泵送和站

特性與優(yōu)勢

  • 緊湊型設(shè)計(jì)，包括集成的控制器
  • 性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
  • 數(shù)字化 5 軸控制
  • 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
  • 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程

數(shù)據(jù)

入口法蘭尺寸 ISO250F / VG250 / ICF305
前級抽氣口尺寸 KF40
抽速 N2 2650 ls-1
抽速 Ar 2300 ls-1
壓縮比 N2/H2 >108 / 2 x 103
極限壓力 10-7 Pa (10-9 Torr)
允許的前級壓力 266 Pa (2 Torr)
大氣流 N2 （僅水冷） 4000 sccm

(6.76 Pam3s-1)
大氣流 Ar （僅水冷） 2100 sccm

(3.55 Pam3s-1)
額定速度 27700 rpm
啟動時(shí)間 <10 分鐘
固定位置 任何方向
輸入電壓 200-240 V
大輸入功率（不帶 TMS） 1500 VA
大輸入功率（帶 TMS） 1800 VA
重量 80 kg

大氣流適用于在 25 oC 以下的水冷卻溫度下連續(xù)泵送 N2  或 Ar 氣體，并且使用前級泵（10,000 l/min 尺寸）的情況。 它會隨條件變化而變化。

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