Edwards 30B5M 蒸汽增壓泵以介于機(jī)械增壓器與擴(kuò)散泵之間的壓力提供高達(dá)
15000 ls-1 的更高泵速。Edwards 的蒸汽增壓泵已在本經(jīng)歷了 30 多年的實踐檢驗。通過持續(xù)的更新和化計劃并汲取 OEM 和終用戶的意見，加之其固有的性、易用性和對不同進(jìn)氣口壓力和排氣壓力的適應(yīng)能力，這些增壓泵應(yīng)用于冶金和鍍膜行業(yè)及其他。

蒸汽增壓泵的運行方式與蒸汽擴(kuò)散泵的運行方式類似，但除了具有環(huán)形噴射器外，它們還具有一個噴射器級，大大提高了泵的吞吐量。這些泵的極限壓力大約為 10-4 至 10-5 mbar 范圍內(nèi)，高于此壓力時，泵對于氣體表現(xiàn)出的抽速。由于臨界前級壓力較高，可使用相對較小的機(jī)械前級泵。這些泵可在 10-1 to 10-4 mbar 范圍內(nèi)使用，在此范圍內(nèi)，旋轉(zhuǎn)泵會達(dá)到其極限，普通擴(kuò)散泵則表現(xiàn)不穩(wěn)定。
這些泵大多用于抽送受污染的系統(tǒng)和高負(fù)荷量的氫氣，從而適合在冶金和化學(xué)制程中應(yīng)用。

• 真空冶金
• 蒸餾、干燥和脫氣
• 薄膜覆層和噴鍍
• 大型研究活動