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概述
EXT75DX 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵，它將經(jīng)實(shí)踐證明的陶瓷機(jī)械下軸承、干式永磁上軸承和 Holweck 分級(jí)與帶來(lái)額外便利性的板上 24 V 控制器結(jié)合在了一起，該控制器可實(shí)現(xiàn)與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。它隨附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭，N2抽速高可達(dá) 66ls-1。基本的泵系統(tǒng)可能需要 EXT75DX 泵、TAG 或 TIC 控制器，或者空氣或水冷卻附件以及合適的前級(jí)泵。

功能和優(yōu)勢(shì)
通過(guò)板上控制可以降低運(yùn)行功耗，減少運(yùn)行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動(dòng)、冷卻風(fēng)扇和自動(dòng)排氣選件。
與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個(gè)或多個(gè)真空計(jì)而不需要額外的顯示控制器。
并行或串行接口。
并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號(hào)界面。
串行模式提供 RS232，可以控制泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控：
排氣閥控制設(shè)置
運(yùn)行速度指示
待機(jī)運(yùn)行速度
可編程功率設(shè)置
功耗
泵/控制器溫度
標(biāo)配的入口篩網(wǎng)。
用于清潔泵、減少振動(dòng)和大程度降低磨損的永磁上軸承。
手動(dòng)排氣閥（電磁閥操作的型號(hào)可以用于全自動(dòng)排氣）。
Holweck 分級(jí)實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力容差。
氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護(hù)電機(jī)和下軸承。

數(shù)據(jù)

進(jìn)氣口法蘭	DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K
法蘭	DN16NW
排氣/吹掃口	1/8 英寸 BSP
抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100)
N2	61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1)
He	57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1)
H2	53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1)
壓縮比
N2	>1 × 1011
He	1 x 106
H2	5 x 104
前級(jí)泵	RV5/nXDS6i
大連續(xù)進(jìn)氣口壓力（輕氣體泵送）?
水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度）	2 × 10-2 mbar
強(qiáng)制空氣冷卻，35 °C 環(huán)境溫度	1 × 10-2 mbar
泵旋轉(zhuǎn)速度
標(biāo)稱(chēng)旋轉(zhuǎn)速度	90000 rpm
待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度	在 49500 至 90000 rpm 之間變化（63000 rpm 默認(rèn)）
可編程功率限制設(shè)置	可在 50 至 120W 之間變化（默認(rèn)為 80W）
模擬輸出	轉(zhuǎn)速；功耗；泵溫度；控制器溫度
到 90% 速度的啟動(dòng)時(shí)間	110 s ?
極限壓力 (ISO/CF)
RV 前級(jí)泵	<5 x 10-9/5 x 10-10
隔膜前級(jí)泵	<5 x 10-8/5 x 10-9
冷卻方法#	強(qiáng)制空氣/水
強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度	5 - 35 °C
冷卻水流速（15 °C 的水）	15 l h-1
水溫范圍	10 - 20 °C
高進(jìn)氣口法蘭溫度	100 °C
操作姿態(tài)	垂直且豎直，直到水平
1 米處的噪音級(jí)別	<50 dB(A)
泵可以承受的大磁場(chǎng)	5 mT
控制器	TIC100
靜止電功率	10 W

根據(jù)應(yīng)用可使用較小的前級(jí)泵。也可使用極限壓力 < 5 mbar 的適用隔膜泵，例如 XDD1。
? 在此入口壓力之上，旋轉(zhuǎn)速度會(huì)降至低于標(biāo)稱(chēng)速度。
? 功率限制設(shè)置為 80 W。
# 空氣和水冷卻附件須單獨(dú)訂購(gòu)